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乾膜脫落DOE專案 專題名稱: 乾膜脫落改善專案 報告單位: 百 碩 廠 B1小組 報告日期: 2003.10 乾膜脫落DOE專案 活 動 計 劃 外層原理 影像轉移.將圖形由底片經乾膜轉移到板子銅面上. 外層(乾膜)流程圖 * B1 組 組 織 圖 主題選定 現況分析 目標設定 要因分析 實驗因子選定 DOE實驗 再現性規劃 對策提出與實施 標準化 乾膜脫落DOE專案 前處理 壓 膜 曝 光 AOI檢測 顯 影 檢 修 相關介紹 乾膜脫落DOE專案 壓膜機全貌 曝光機全貌 乾膜顯影機全貌 AOI/自動光學檢查機 外層前處理全貌 乾膜脫落DOE專案 前處理: 清潔板面及增加表面粗糙度,以提高乾膜的附著力. 中壓循環水洗 循環水洗 循環水洗 酸洗 放板 整列 微蝕 可掀式皮帶輸送機 緩衝機 刷磨 收板機 乾膜脫落DOE專案 壓膜: 以熱壓滾輪壓合乾膜光阻.使乾膜膠層軟化.同時使乾膜膠層在接觸基板表面有足夠的流動性填滿基板表面. 乾膜脫落DOE專案 收板机 50格履帶式緩衝机 壓膜后輸送 壓膜前整板 預熱机 放板机 清潔机 壓膜 貼膜之前基板 未使用之乾膜 壓膜機將乾膜 貼附在板面上 貼膜後/曝光前之基板 乾膜 乾膜脫落DOE專案 曝光: 將底片上的線路圖形,經由紫外光的照射,將影像轉移到有乾膜光阻的基板上. 收板机 暫存機 翻轉機 上流曝光機 放板机 清潔机 下流曝光機 乾膜脫落DOE專案 收板機 中壓復合水洗II 顯影III 顯影II 入料放板 顯影I 中壓復合水洗I 乾膜脫落DOE專案 顯影: 顯像是把尚未發生聚合反應的區域用顯像液將之沖洗掉，已感光部份則因已發生聚合反應而洗不掉仍留在銅面上成為蝕刻或電鍍之阻劑膜。 乾膜脫落缺點板(半成品板/乾膜板) 圖4 圖1 圖2 圖3 乾膜脫落DOE專案 乾膜 銅面 圖1 圖2 圖3 圖4 乾膜脫落缺點板(成品板) 連續三條線路脫落 銅線路 外層乾膜區 乾膜脫落DOE專案 顯影之後乾膜板(OK板) 顯影之後乾膜脫落板(NG板) 藍色為外層乾膜 黃色為銅 乾膜脫落DOE專案 問題類型定義： X型 本實驗之問題類型對於造成問題之原因不明確,而且對於最佳參數條件尚不明確,並且實驗因子大於4個,所以,乾膜脫落是屬于X型問題。 問題類型定義 乾膜脫落DOE專案 D.O.E (實驗因子大於四個) 檢定/推定 相關迴歸 D.O.E QC七大手法 管制圖 層別法 解決工具 不明確 不明確 明確 最佳參數條件 不明確 明確 明確 造成問題原因 X型 A型 T型 問題類型 乾膜脫落DOE專案 特 性 值：乾膜脫落不良率 望小特性：降低乾膜脫落不良率 降低乾膜脫落不良率 特性值定義 第三季度全廠報廢圓形圖 乾膜脫落DOE專案 一.主題選定 乾膜脫落DOE專案 最近十二週乾膜脫落報廢趨勢圖 二 . 現況分析 乾膜脫落DOE專案 乾膜脫落DOE專案 三.目標設定 50% Better! 四. 要因分析/魚骨圖 1.以下為從人,機,料,法(4M)展開的魚骨圖 為 何 外 層 乾 膜 脫 落 1 人 2 機 3 料 1.2 手紋 油污 1.2.1 前處理檢驗 1.2.2 搬運 1.3 修補不良 1.1 乾膜刮撞傷 3.1 板面凹陷 4.1 前處理 4.2 壓膜 4.3 曝光 4.4 顯影 2.1 壓膜不良 2.1.1 膜皺 2.1.2 卡板 2.2 曝光不良 2.2.1 卡板 3.2 乾膜破損 2.3 顯影不良 2.3.1 卡板 4 法 乾膜脫落DOE專案 2.針對“法”的魚骨圖 乾膜脫落DOE專案 五.實驗因子選定 乾膜脫落DOE專案 乾膜脫落DOE專案 第一階段因子與水準選定 固 定 因 子: 水膜時間 15 秒以上 曝光能量 8~9 STEP 顯影液溫度 30 o C 顯影液噴淋壓力 1.5 kg/cm2 顯影速度 4.0 m/min 乾膜脫落DOE專案 實驗線別 前處理:黑孔後外層前處理 壓膜機:二號壓膜機 曝光機:一號曝光機 顯影線:一號線 乾膜類型 長興乾膜(HT-115) 實驗料號 A014074E0 固 定 因 子: 乾膜脫落DOE專案 1.壓膜滾輪壓力 2.壓膜速度/3.壓輪溫度 4.進板溫度 實 驗 因 子: 壓 膜 滾 輪 溫度 速度 乾膜脫落DOE專案 直交表配置 C A B D 1 7 3 4 2 6 5 點線圖 乾膜脫落DOE專案 實驗結果 乾膜脫落DOE專案 ANOVA 分析表 F0.05 = 18.512765 F0.01 = 98.501914 乾膜脫落DOE專案 第一