第一篇-第四章 膜系设计图示法.pptVIP

显然，与无吸收介质的情况不同，金属膜相位厚度为复数，不能采用§4.2节的方法进行处理。 为了得到金属膜导纳圆图，首先假定式（4-68）中 （ §4.2已经讨论）。为简单起见，记 由于 (4-69) （4-70） 代入可得 根据式（3-68），可写出膜系特征向量为 由此得到膜系等效导纳 （4-71） （4-72） （4-73） 令式（4-73）中的实部和虚部分别相等，有 两式中消去 ，简化得到 （4-74） （4-75） 令 则有 这就是消光系数为 的金属膜导纳圆图方程，圆心为 ，圆半径为 。当 ，求解可得实轴上两交点为 而当 ，得到虚轴两交点为 （4-76） （4-77） （4-78） （4-79） 式（4-78）和式（4-79）表明，金属膜导纳圆在导纳图实轴上 仅有交点 ，而在虚轴上存在两个交点 和 ，并且不管 为何值，虚轴上交点不变。消光系数为 的金属膜导纳圆如图 4-16（a）所示（实线）。 在式（4-74）中消去 ，得到 （4-80） 令 （4-81） 得到金属膜等相位圆方程为 圆心为 ，圆半径为 。消光系数为 的金属膜等相位导纳圆如图4-16（a）所示（虚线）。 上述讨论假定 ，但实际上金属膜的折射率并不为零。比如可见光波段，金属铂、金、银和铝在波长 的复折射率分别为 铂（Pt）： （4-82） 金（Au）： 银（Ag）： 铝（Al）: 对于金和银，比值 约为 和 ，铂和铝约为 和 。如果比值 比较大，则金属膜的导纳图与 的情况很接近，仅需要将图4-16（a）依 的大小逆时针方向旋转一个小的角度，银膜的导纳圆图如图4-16（b）所示，导纳圆均相交于点 和 点 。 如果金属膜 比值比较小，其导纳圆图与 的情况相差比较大，其导纳圆图是沿螺 旋线终止于点 。 4.4 膜系层间电场分布 导纳图的另外一种用途是对于给定膜系的反射率R可画出膜系内的电场分布，这对于分析薄膜抗激光损伤的能力很有帮助。 假设膜系入射介质折射率为 ，透射介质光学等效导纳为 ，对于各向同性无损耗介质膜系，根据式（2-223），在界面两侧入射波、反射波和透射波满足能量守恒 （4-83） 移项，并利用定义式（2-218）和式（2-220），得到 假设入射光光强为 ，根据光强的定义式（1-55），有 （4-84） （4-85） 由于 ，代入得到 在垂直入射的情况下，并假定入射光强 ，而 ，代入得到 该式表明，当膜系反射率R不变时，膜系内任一点透射电场强度的大小 与等效折射率 （4-86） （4-87） 的平方根成反比。图4-17所示为入射光强 时，电场强度在导纳图中随等效折射率 的变化。显然，电场强度等值线平行于导纳图虚轴。 系数写成三角函数形式，有 令式（4-23）中的实部和虚步分别相等，得到 两式中消去 ，得到 (4-23) (4-24) (4-25) 令 则有 这也是在复平面 上关于 和 的圆方程，圆心 位于复平面虚轴 ，圆半径为 。如果给定相位 ， 和 就是定值，导纳轨迹方程就是等相位圆，如图4-9所示。 由式（4-25）和式（4-26）可知，等相位圆具有如下特点： （4-26） （4-27） 1. 当 ， ， ，圆心 位于复平面虚轴上正向无穷远处，等相位圆半径 ，导纳轨迹对应于实轴。 2. 当 ， ， ，圆心 位于复平面虚轴上负向无穷远处，等相位圆半径 ，导纳轨迹也对应于实轴。 3. 当