铰链式高冲击微加速度传感器封装的有限元模拟-光学精密工程.PDFVIP

第 卷 第 期 光学 精密工程 １５ ２ 　 Ｖｏｌ．１５ Ｎｏ．２ 　 　 　　　　　　　　 Ｏ ｔｉｃｓａｎｄＰｒｅｃｉｓｉｏｎＥｎｉｎｅｅｒｉｎ 　　　　　　　　 年 月 　 ｐ ｇ ｇ ２００７ ２ Ｆｅｂ．２００７ 　 　 　　 文章编号 （ ） １００４９２４Ｘ２００７０２０１９９０７ 　 铰链式高冲击微加速度传感器封装的有限元模拟 ， １ １２ ２ 车录锋 ，卢 云 ，徐志农 　 （ 中国科学院 上海微系统与信息技术研究所 传感技术国家 １． 重点实验室，上海 ； 浙江大学 机械与能源工程学院，浙江 杭州 ） ２０００５０２． ３１００２７ 摘要：给出了一种新型铰链式高冲击微加速度传感器实际封装结构的有限元模拟分析。首先分析了封装前铰链式加速 度传感器的振型，然后分析了封装结构在无灌封和五种不同灌封材料下的前十阶模态频率特性。灌封胶弹性模量对封 装后加速度传感器整体结构的振动模态有一定的影响，封装结构同一振型的模态频率随着灌封胶弹性模量的增大而增 大，但是灌封胶弹性模量很小时（ ）会导致加速度传感器信号失真。模拟结果表明，可以选择弹性模量足够高 犈 １ＧＰａ ≤ 的材料（ ）作为高冲击加速度传感器的灌封材料。 犈 ９ＧＰａ ＞ 关 键 词：微加速度传感器；封装；有限元模拟 　 　 中图分类号： 文献标识码： ＴＰ２１２．１７ Ａ 　　 犉犻狀犻狋犲犲犾犲犿犲狀狋狊犻犿狌犾犪狋犻狅狀狅狀 犪犮犽犪犻狀 狅犳犺犻狀犲犱 狆 犵 犵 犵 犺犻犺犿犻犮狉狅犿犪犮犺犻狀犲犱犪犮犮犲犾犲狉狅犿犲狋犲狉 犵 犵 ， １ １２ ２ ， ， ＣＨＥＬｕｆｅｎ ＬＵＹｕｎ ＸＵＺｈｉｎｏｎ ｇ ｇ （ ， １．犛狋犪狋犲犓犲 犔犪犫狅狉犪狋狅狉 狅 犜狉犪狀狊犱狌犮犲狉犜犲犮犺狀狅犾狅 犛犺犪狀犺犪犻犐狀狊狋犻