具有溯源性的原子力显微镜探针法向弹性常数标定系统.pdfVIP

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具有溯源性的原子力显微镜探针法向弹性常数标定系统

12 4 Vol. 12 No. 4 第 卷 第 期 纳 米 技 术 与 精 密 工 程 2014 7 Nanotechnology and Precision Engineering Jul. 2014 年 月 DOI 10. 13494 /j. npe. 具有溯源性的原子力显微镜探针法向弹性常数标定系统 宋 , , , 云鹏 吴 森 耿新宇 傅 星 ( ( ), 300072) 精密测试技术及仪器国家重点实验室 天津大学 天津

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