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- 2017-12-22 发布于天津
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具有溯源性的原子力显微镜探针法向弹性常数标定系统
12 4 Vol. 12 No. 4
第 卷 第 期 纳 米 技 术 与 精 密 工 程
2014 7 Nanotechnology and Precision Engineering Jul. 2014
年 月
DOI 10. 13494 /j. npe.
具有溯源性的原子力显微镜探针法向弹性常数标定系统
宋 , , ,
云鹏 吴 森 耿新宇 傅 星
( ( ), 300072)
精密测试技术及仪器国家重点实验室 天津大学 天津
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