制备有机聚合物脊型光波导的新方法.pdfVIP

2000 年 微 　细 　加 　工 　技 　术 №. 2 第 2 期 Microfabrication Technology 2000 文章编号 :100382 13 (2000) 0200 1005 制备有机聚合物脊型光波导的新方法 单吉祥 ,应再生 ,沈启舜 ,曹庄琪 (上海交通大学应用物理系区域光纤通讯网及新型光通信系统国家重点实验室 ,上海 200030) 摘要 :详细讨论了 DR 1/ PMMA 聚合物波导在紫外光照射下 ,各个模式的有效折射 率 ,薄膜厚度 , 以及紫外可见吸收谱的变化情况 。并在此基础上 ,提出了以金属掩模 , 利用光漂白技术制备聚酰亚胺脊型光波导的新方法 。 关键词 :聚合物波导 ;光漂白;有效折射率 中图分类号 : TN 814 + ·6 　　　文献标识码 :A 1 　引言 在通讯领域中,光传输的介入突破了集成电路技术中集成度和传输速率的极限。而有机 聚合物非线性光学材料以其响应时间、非线性性质 , 以及成本等方面的优势 ,展示了它深远的 〔1〕 ( 应用前景 。而且有机聚合物可垂直堆积成多层结构 ,这是传统的集成光学材料 如铌酸锂 ) 和砷化镓 无法做到的。 光漂白技术就是制备这种多层聚合物光器件的重要方法 。制备工艺与现有的电子处理技 术有很好的相容性 〔2 〕。它能通过调整曝光时间方便地控制波导薄膜的折射率分布 ;制成的条 波导传输损耗较低 ;而且可以多个样品同时制作 。实现电光器件的垂直集成 〔3 ,4 〕。 ( ) 本文采用极性大 ,混容性好的偶氮类染料分散红 DR 1 作为发色团 ,掺杂聚甲基丙烯酸甲 ( ) ( ) 脂 PMMA 或聚酰亚胺 P I ,并制成薄膜 ,研究了有机聚合物波导薄膜的光漂 白性质 。波导 薄膜在不同波长的紫外光照射下 ,会导致发色团的双键断裂或分子构象变化 , 引起薄膜收缩 , 紫外可见吸收谱和波导传输模式的有效折射率也随之发生变化 。 在此基础上我们提出了以金属作掩模 ,利用条件优化的光漂 白技术制备高温稳定聚酰亚 胺脊型光波导的新方法 。 　　收稿 日期 : 　　作者简介 :单吉祥 ,男 ,1975 年生 ,上海交通大学应用物理系硕士研究生 ;应再生 ,男 , 1948 年生 ,副教授 , 硕士生导师 ,从事微细加工技术的研究和教学 ;沈启舜 ,男 ,副教授 ,硕士生导师 ,从事导波光学的研究 。 50 2 　聚合物波导与紫外光漂白 发色团分子 DR 1 以5 %的重量比与母体聚合物 PMMA 或 P I 混和 。DR 1/ PMMA 溶于甲 苯溶剂中 ,DR 1/ P I 溶于 N - 甲基 - 2 吡咯烷酮溶剂 ,充分溶解 。用旋转涂覆的方法 ,将配好的 溶液涂敷于清洁的玻璃基片上 ,DR 1/ PMMA 的转速为 12 ～15kr/ min ,DR 1/ P I 的转速为 μ 30～3 . 5kr/ min 。膜厚都约为 2 m 。然后将样品放入烘箱 ,缓慢升温 ,蒸干薄膜内残余溶剂 , 恒温数小时 ,使薄膜固化 。 通常利用光漂白技术制备波导的装置如图 1 所示 。紫外光经过普通掩模板的透光区域作 用于聚合物薄膜表面 ,改变聚合物体系的性质 ,使曝光区域的折射率降低 ,形成条波导 。 　　Sihan Lin 研究侧链型聚合物 DR 1/ PMMA 的光漂白性质 ,认为最有效的漂白条件是将样 品的温度提升到它的玻璃化转变温度附近 ,用强度适中、365nm 以上的宽频带光源照射漂 白〔4 〕。 实验表明 ,尽管提高温度会加速漂白进程 ,但会 导致染料分子在整个波导平面内漂移 , 自聚集甚至 分解 、升华 。无论掺杂型或者大重量比的侧链型聚 合物体系 ,上述情况都是增加波导输损耗的重要原 因 〔5 〕。因此以下所有漂白过程将在 65 ℃进行 ,远低 于 DR 1/