平板平面度分析软件验证研究.pdfVIP

平板平面度分析软件验证 范元凯1木吕锦华2李木水1 1中达电子(江苏)有限公司 2工研院量测技术发展中心 9 木江苏省吴江市江兴东路1688号电话：(0512605 摘要。平台的平面度误差在工业生产活动中占有非常重要的作用，常用的平面度测量是采用水 平仪测量，然后经由计算机软件计算其平面度，软件计算正确与否攸关测量结果的准确性，因 此软件的验证就极其重要。本实验室使用电子水平仪来测量得到平板表面各测量点的高度值， 然后经软件计算平面度误差。本文采用环线法平差处理方法对平板测量原始数据进行平差处理， 再利用旋转法旋转基准面，最后选用最小条件法计算平面度误差，以此来验证平板平面度分析 软件计算结果。通过测量一平板的数据进行比对后，最小条件法计算结果与平板平面度分析软 件计算的结果极为接近，表明此平面度分析软件具有良好的准确性。 关键字：环线法平差处理、旋转法、最小条件法、平面度、软件验证 1前言 平板的平面度误差在工业生产活动中占有非常重要的作用，而传统的平板计算软件系统由 于数据传输引起的数据采集失真和数据处理的复杂、繁琐，从而导致测量与计算精度低等问题， 证该软件的平面度计算的准确度，使用Wyler无线蓝牙电子水平仪对一平板进行平面度误差测 量，得到的平面度原始数据采用环线法进行平差处理，再利用旋转法进行基面转换，最后选用 最小包容原则评定平面度误差。经比较，本文计算的结果与平面度分析软件的结果极为接近， 表明平面度分析软件准确性佳。 2平板的校准 本实验室采用电子水平仪直接对平板进行校准，校准用标准件选用Wyler公司的无线蓝牙 Accreditation 电子水平仪组，溯源至台湾认证基金会(Taiwan Foundation，溥)，并搭配辅助平 板分析软件，采用方格法对平板进行布线布点。该方法由于测线测点均匀分布，保证测量的准 确性，可以全面反映平板的形貌，且平板分析软件自取数据、自动运算，简单、便捷。本文使 用电子水平仪直接对平板进行测量，攫取电子水平仪读值作为平板平面度原始数据，然后对原 始数据进行处理。量测示意图如图l和图2所示。 3平面度分析 3．1平面度的定义 依据平板检定规程n3平板平面度误差的定义是“包容平板实际工作面且距离为最小的两平 行平面间的距离。”可以应用“最小条件原则”作评定。最小条件就是理想平面及与其平行的理 想平面必须包容整个被测实际面，并使其间的距离最小，以次形成最小包容区域，如图3所示， 其中t为平面度误差。 475 Me8sudifecUon ． ring uansⅧrs“■■}r RefefenceInslrufllenI Measudreclion ri,]g Iongiludinal ■·二_—乏Ⅻ。 ‘ ‘ inslrumenl Measuring 图l测屉示意翔 阳2技准系统永意图 图3平瓶度示意图 3．2■小条件平面度的爿剐准埘 评定平板平扳度采删蛙小条件时．进行基面变换．若满足以下准则，则不再继续变换．这 时极人值与极小值的差即为满足城小条件的平面度。 32 l准则I：三角形准则 一个蛀低(高)点的