GALIL运动控制器应用案例-控制网.PDF

GALIL 运 动 控 制 器 应 用 案 例 北 京 宝 伦 数 控 技 术 有 限 公 司 POWERLAND Technologies Co. 公司总部： 地址：北京市海淀区上地三街 9 号嘉华大厦 F 座 10 层 邮编：100085 电话：0108284085582890854 传真：010 Internet: E-mail ：sales@ 上海办事处： 广州办事处： 地址：[200050]上海长宁区定西路 1277 号 地址：[510665]广州市天河区中山大道西 1009 号 长峰大厦 301 室 天朗明居 S11-603 室 电话：02162512536 电话：020传真：021 传真：020 E-mail ：sh-office@ E-mail ：gz-office@ 北 京 宝 伦 数 控 POWERLAND Technologies 目 录 ■ 晶片定位机 ■ 贴标机 ■ 镜片打磨机 ■ 涂胶/点胶机 ■ 飞剪机 ■ 切片机 ■ 微型阵列器 ■ 绗缝机 ■ 水射流切割机 1 / 68 北 京 宝 伦 数 控 POWERLAND Technologies 晶片定位机 1. 系统概述 在半导体工业中，硅晶片在从一个工序移动到下一个工序的过程中是被装在盒子里的。 当盒子到达某一位置时，晶片搬运机器人就把晶片从盒子里转移到加工模块，一次一片。机 器人必须跳过没有晶片的位置或者那些一个槽里不止一片晶片的位置（双槽）。为了获得这 些位置信息，在机器人搬运这些晶片之前，晶片在盒子中的位置需要被定位。 这个应用实例所描述的，是一个单轴的晶片盒定位机（如图 1），这个定位机被连接到 一台 RZθ机器人（在此不做详细介绍）。机器人发出请求后，晶片定位机就驱动一个传感器 对25槽晶片盒中的晶片堆进行扫描，并输出一个数字波形用来指示晶片边沿的位置。每个槽 中晶片的状态是通过电机位置及与之对应的波形中的每个边沿确定的。当整个晶片盒被定位 完毕后，晶片定位器会将哪个晶片槽里有东西及哪个槽是双槽的信息通过以太网报告给机器 人控制器。 图 1. 晶片定位机（晶片盒，机器人未在图中显示） 2. 要求 ⑴. 用来捕捉晶片边沿位置的高速位置锁存器 ⑵. 从以下几种状态中判断盒子中每个槽的状态： • 无晶片 2 / 68 北 京 宝 伦 数 控