可实现误差估计的移相量计算方法-光学精密工程.pdfVIP

第 卷 第 期 光学精密工程 棽棿 暋 棻棸 暋 斨旓旍棶棽棿暋斘旓棶棻棸 暋暋暋暋暋暋暋暋暋暋斚 旚旈斻旙斸旑斾斝旘斿斻旈旙旈旓旑斉旑旈旑斿斿旘旈旑 暋暋暋暋暋暋暋 年 月 旔 旂 旂 棽棸棻椂 棻棸 暋 暋 暋 斚斻旚棶棽棸棻椂 文章编号 棬 棭 暋棻棸棸棿灢椆棽棿斬棽棸棻椂棻棸灢棽椀椂椀灢棸椃 可实现误差估计的移相量计算方法 棳 棻灣 棻棽 棻 棳 棳 刘 乾 袁道成 何建国 暋 棬 棳 椈 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所 四川绵阳 棻棶 椂棽棻椆椆椆 棳 棭 西安交通大学机械工程学院 陕西西安 棽棶 椃棻棸棸棿椆 椇 棳 暎 椇 摘要 针对移相干涉仪中移相器的标定 提出了一种基于干涉图计算移相量的迭代方法 该方法分为两步 首先假设移 棳 椈 棳 棳 相量已知 构建三元最小二乘方程计算位相 然后假设位相已知 构建二元最小二乘方程计算移相量 同时依据三角函数 棳 暎 暎 关系和遍历原则 建立估算移相量计算误差的参数 利用计算机仿真和实验验证了提出方法的有效性 计算机仿真显 椇 棳 暎在 干涉仪上开展了 示 提出的方法比已有算法计算精度更高 而且误差估计值与实际计算误差偏离小于 棻椀棩 斊旈旡斿斸旛 棳 暎 棳 验证实验 利用两个电容位移传感器测量了镜架的位移 计算结果与电容传感器测量结果非常吻合 最大偏差仅为 棸棶椃 暎 棳 棳 暎 旑旐 另外 利用本文方法得到的误差估计值为 棸棶椀棽旑旐 显示测量结果和计算结果的偏差在误差估计值范围内 所提出 棳 棳 暎 的方法可以高精度地提取移相量 且能给出移相量计算误差 是一种简单可靠的移相器标定方法 椇 椈 椈 椈 椈 关 键 词 移相干涉仪 移相器 标定 误差估计 迭代算法 暋 暋 中图分类号椇 文献标识码椇 椇 棷 棾椃椄椄斚斝斉棶棽棸棻椂