反射型导模共振滤波器设计-物理学报.pdfVIP

第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报 *( $$% ， ， ， J82 +*( I8 + ;KLMN0M4 $$% （ ） !$$$.’$D$$%D*( $ D$%(.$5 E=@E F,GH=E HIH=E !$$% =O1P + FO4B + 87 + !!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!! 反射型导模共振滤波器设计 ）） ）） ）） ）） 麻健勇! # 刘世杰! 魏朝阳! 许 程! !） !） !） !） 晋云霞 赵元安 邵建达 范正修 !）（中国科学院上海光学精密机械研究所，上海 $!%$$ ） ）（中国科学院研究生院，北京 !$$$’ ） （ 年 月 日收到； 年 月 日收到修改稿） $$( ) !) $$( * 导模共振滤波器由于其高峰值反射率，低旁带反射，窄带以及带宽可控等优良特性引起了人们极大的关注，采 用亚波长光栅的导模共振效应可以实现传统基于高低折射率介质的多层膜滤波器所无法实现的特殊功能，在弱调 制模式下，其共振带宽可以被压缩到零点几纳米，但是由于介质表面和空气层的菲涅耳反射，使得偏离或者远离共 振区时的反射率偏高，根据等效介质理论，亚波长光栅在远离共振区可以被看为均匀的薄膜，本文通过对导模共振 光栅进行单层、双层以及三层抗反射设计，有效的降低了导模共振光栅的旁带反射率，从而在可见光波段获得了性 能优良的共振滤波器+ 关键词：导模共振，平面波导，傅里叶模式理论，窄带滤波 ： ， !## )!!$, )* 本征方程获取共振峰的位置以及波导的关键参数， ［— ］ !9 引 言 然后采用矢量衍射理论———傅里叶模式理论* ( （ ）严格求解共振峰的位置，从而获得宽广谱反 ; ［］ ! 采用共振异常特性 的波导光栅具有独特的滤 射率曲线+ 波特性，其工作原理是在光栅的共振波长处，波导所 支持的导模（泄漏模）与高级次的传播波发生强烈的 9 理论基础 耦合，从而在反射谱上出现一个急剧的跃变，即产生 一个共振峰，特别地，对于亚波长波导光栅可以实现 将光栅看作被调制的平面波导，采用波导理论 !$$ : 的反射或者透射，利用这一特性我们可以制作 分析光栅的衍射特性，从而近似预测导模共振光栅 ［— ］ ) 的共振峰位置 图 是多层周期性平面波导光栅，平 各种高效的窄带滤波器或者光开关 ，但是如果