光栅莫尔条纹细分技术研究.doc

编号20130921114 本科生毕业设计（论文） 光栅莫尔条纹细分技术研究 Study on the subdividing technique for morie fringes of grating 学 生 姓 名 高飞 专 业 光电信息工程 学 号 0921114 指 导 教 师 赵馨 分 院 光电工程分院 2013年 6月 摘 要 光栅是一种精密测量装置，测量原理是以光栅移动形成的莫尔条纹为基础。介绍输出正弦信号和方波信号的光栅在位移测量中脉冲细分的常用方法，分析其中两种方法的电路与波形并对其进行实验，验证细分原理的正确性。 本文对莫尔条纹细分技术进行了深入研究，提出了提高细分精度和分辨力的解决方案。从基本原理上归纳总结实际应用中各种细分方法的实现途径和特点。 重点对莫尔条纹形成和特点进行研究并对细分精度影响因素进行理论分析；在常规信号调理的基础上，通过对电路处理系统进行分析，可极大提高细分精度，从而提高光栅传感器的精度 关键词：光栅 莫尔条纹 细分 ABSTRACT Grating is one measuring device of high precision, and its measuring principle is based on Morie fringes which is created by grating moving. Introduces the common methods which the grating of sinusoidal and square outputs utilizes in pulses subdividing during displacement measuring, and specially analyzes circuits and waveforms of two methods .Finally，one experiment is done on the two methods , and it proves the correctness of subdividing principle The formation and characteristics of Moire Fringes is studied perfectly and how to improve the subdivision precision and distinguishment are put forward in this thesis. The realizations and the characteristics of various subdivision methods according to the principle are summarized first. The tangent subdivision method of Moire Fringe is studied with emphasis and the factors which influence the subdivision precision are analyzed theoretically. Improving the accuracy of grating sensor by the analysis of circuit processing system Key Words: Grating Moire fringes Subdivision  目 录 第一章 绪 论 1 1.1引言 1 1.2国内外的研究现状 1 1.2.1国外光栅技术研究概况 2 1.2.2国内光栅研究概况 2 1.3本课题研究的目的和意义 3 第二章 莫尔条纹原理及光栅传感器 4 2.1 光栅的基础知识 4 2.2 莫尔条纹的形成 5 2.3 莫尔条纹的特点 6 2.3.1 误差平均效应 7 2.3.2 运动对应关系 7 2.3.3 位移放大作用 7 2.4 莫尔条纹信号预处理 7 2.4.1 信号调理 7 2.4.2 光强补偿 8 2.5光栅传感器 9 第三章 电路及处理系统原理 12 3.1 差分放大原理 12 3.2光栅传感器辩向原理 13 3.3条纹细分技术 17 结 论 32 参考文献 33 致 谢 34 第一章 绪 论 1.1引言 精密测量技术是机械工业发展的基础和先决条件之—。从生产发展的历史来看，精密加工精度的提高总是与精密测量技术的发展水平相关的。由于有了