光学系统的计算机辅助装调.ppt

光学系统的计算机辅助装调 王 成 2001年3月 1981年，NASA 1989年Santa Barbara 研究中心 1988年，Arizona大学 俄罗斯、日本、保加利亚以及法国也相继地在这方面进行了研究。 国内在这方面的研究刚刚起步[5]。 二、研究方案 数字化采集和数据分析处理 逆向优化算法的研究 实验验证 三、前期工作 干涉图检验定性装调工作已经完成。 装调软件已经初步建立，并进行了数字模拟闭合运算 完成了部分实验工作 具备实验和进一步开展工作的能力 计算机模拟结果（离轴三反射镜光学系统的数值模拟） 设计特性： 波长：0.5?m 有效焦距：6000mm 最大视场：2?1.04 degree 相对孔径：F/10 模拟 Tx次=0.008° Ty次=0.008° 0.448? P-V 0.0883? RMS Strehl Ratio: 0.7789 实验装置 设计特性： 无像差点自准直光学系统 波长：0.63?m 数值孔径：0.15956 实验结果 发表的论文 ?Computer-aided alignment of the complex optical system. Zhang.B, Zhang.X.H, Wang.C, SPIE 4231(2000): 67 ???离轴非球面三反射镜光学系统装调中计算机优化方法的研究。张斌，韩昌元，光学学报 （21） 1，2001：54 四、现正在进行的工作 二代详查相机的前期工作 极紫外投影光刻光学系统的前期工作 五、参加人员 王 成 博士后 韩昌元 主任研究员 张晓辉 硕士，副研究员 金春水 在读博士，研究员 马 军 副研究员 张圣华 副研究员 谢谢 ！ 1、计算机辅助装调数学模型的建立 2、研究要点 ?F 的获得 ?X 的确定 四、计算机辅助装调的数据处理 、法方程组的构造 、失调量的确定 、数值模拟 1、法方程组的构造 2、失调量的确定 c、奇异值巩固逆 失调量较大，函数的非线性度高； ?F与A带有误差和某种不确定性； 出现近似相关的现象； 3、数值模拟 a、广义逆 b、奇异值分解 * * 一、立论依据 、国际发展情况 、主要内容 为适应空间光学以及国防、科技的发展，现代光学系统在光学设计和光学加工方面取得长足的进步，但如何使光学系统装调到最佳的状态则是没有彻底解决的问题。计算机辅助装调技术的研究开展于80年代。主要是针对复杂光学系统、非常规光学系统（离轴、非球面等）、特殊波面（要求一定的光学象差）的光学系统的装调开展的研究工作。 可应用于较为广泛的对象上。 可将光学系统调整至最佳的使用状态。 使装调理论有一个较好的发展。 * * * * *