长脉冲激光对组成CCD图像传感器的MOS光敏单元的硬破坏机理研究.pdfVIP

物 理 学 报 ActaPhys．Sin． Vo1．60，No．11(2011) 114210 长脉冲激光对组成 CCD图像传感器的MOS光敏 单元的硬破坏机理研究术 毕 娟 张喜和 倪晓武 1)(长春理工大学理学院，长春 130022) 2)(南京理工大学理学院，南京 210094) (2011年4月 7日收到 ；2011年5月 10日收到修改稿) 以帧转移型面阵CCD图像传感器为例 ，采用有限元法研究了波长 1．06Izm，脉宽ms量级长脉冲 Nd：YAG激光 与组成 CCD传感器的MOS光敏单元 的作用过程及硬破坏机理．建立 了长脉冲激光辐照MOS光敏单元 的热力耦合 模型，模拟 了MOS光敏单元 的温度分布和应力分布．研究结果表明：在长脉冲激光作用下，由于 S层表面径向压应 力超过其抗压强度引起MOS光敏单元出现了OS层间分裂，进而受径向、环向和轴向压应力的共同作用下 ，在光敏 单元还未熔融时，层间分裂就扩大至光敏单元的整个 OS层间．OS层间完全分裂会使光敏单元发生硬破坏，并造成 CCD传感器中激光照射区的单个或一列光敏单元的功能完全失效．文章的研究结果可为CCD图像传感器的激光 损伤及防护提供必要 的理论依据． 关键词：长脉冲激光，CCD图像传感器，硬破坏机理，层间分裂 PACS：42．62．一b，85．60．Gz 研究鲜有报道．而长脉冲激光 由于具有峰值能量 1．引 言 密度高于连续波激光 ，同时能避免短脉冲或超短 脉冲激光辐照时产生的等离子屏蔽现象以及热 CCD图像传感器因具有尺寸小、重量轻、功耗 耦合效率较高等优 点近年来在很多领域兴起 ，并 低 、灵敏度高等优点，广泛应用于 民用和军用领域 陆续开展 了一些材料如铝合金、光学薄膜、砷化 中作为可见和近红外激光辐射的探{贝0器．但 CCD传 镓的激光损伤研究 ．当长脉冲激光照射 CCD 感器在与激光光源配合使用时，很容易受到激光的 传感 器时，热 效应将 提高 CCD传感 器 的破坏 破坏以致不能正常工作．因此 ，开展激光对 CCD的 效率 ． 破坏机理研究对丰富激光损伤机理数据库及改善 鉴于光敏单元是 CCD传感器 的重要组成部 CCD的抗激光加固措施具有很重要 的理论和实际 分 ，若光敏单元受到长脉冲激光直接照射而引起 意义． 不同程度的破坏 ，则对整个 CCD传感器来说 ，也 近年来 ，国内外许多学者对激光辐照 CCD传 将受到不 同程度 的影响．因此 ，本文 以帧转移型 感器的破坏效应进行 了大量研究 ，包括器件光学 面阵CCD图像传感器为例，针对长脉冲激光与组 性能退化 ¨ 和 电学性 能退化 的软破坏 ，以及 成 CCD传感器 的MOS光敏单元的作用过程及损 激光束直接作用于 CCD传感器 引起器件 中材料 伤进行理论和数值模拟研究．文 中首先建立长脉 和结构的硬破坏 ’等研究．需要说 明的是 ，上述 冲激光辐照 MOS光敏单元 的物理模型，然后模 工作主要针对不 同波长 的连续波 、短脉冲或超短 拟光敏单元 的温度和应力分布 ，最后根据计算结 脉冲激光对 CCD传感器的辐照效应 ，但脉宽为 果分析其硬破坏机理． ms量级的长脉冲激光对 CCD传感器 的辐照效应 女国防基础科学研究计划 (批准号：A3620060122)资助的课题．