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微机电系统(MEMS)与计量 275 微机电系统(MEMS)与计量 郭增军米淑静 河北省计量科学研究院，050051 河北省石家庄市友谊南大街175号，河北省质量技术监督局计量处，050051 ElectroMechanical 摘要：微机电系统(Micro 括能源、微驱动器、微执行器、微传感器、微控制器以及与外界的接口等。利用硅微加工工艺制造 与集成电路兼容的微小可动部件以及制造微小系统可以批量生产大大降低成本，具有节材、节能、 小惯性、易控制。高速度、高信息密度、高互连密度等，由于该系统能够实现各类产品的微型化、 集成化与便携化，可以完成大尺寸系统所不能完成的任务，从而发现和解决新的科学问题，在诸多 领域有广泛的应用与产业前景。本文简要介绍微系统的涵义、发展和重要特点。并通过讨论微系统 在计量标准领域的应用，阐明微系统作为纳米科技一个重要组成部分的兴起将在未来为计量的发展 提供新的机遇。 ，’‘ 关键词：微机电系统计量标准应用发展机遇 一、微机电系统概述 微机械、微系统或微机械电子系统(微机电系统)是大意相同的3个名词，兴起于20世纪80年代后 期，其含义十分广泛。一般可定义为微米和纳米加工技术制作而成的融机、电、光、磁以及其它相关技术 ElectroMechanical 群为一体的可以活动和控制的微工程系统。目前，人们泛称的是微机械电子系统(Micro 可以活动和控制的、机电合一的微机械装置。其基本特点是体积小、质量轻。功耗低。用它进行的操作是 及其细微的，有的操作已经到了单个细胞乃至分子范围，有的微型敏感元件能敏感到单个原子，能进行原 子量级的探测。 自1987年7月MEMS诞生以来，微系统为当今的信息时代增添了新的色彩。它不仅具有微电子的信息 获取与处理的功能，而且兼有动作信息的执行功能。可以批量制作，集微型机构、微型传感器、微型执行 器、信号处理和控制及通讯接口电路、能源等于一体的能完成特定功能的微系统。加之微能源、微驱动、 微执行、微处理系统的综合，组成千差万别的可实用化、产业化的微型集成器件与系统。MEMS虽然是由集 成电路(IC)发展而来的，但它不像集成电路只涉及单一的电参数，而是囊括声、光、热、力、电、磁、 化学、生物等多门学科范畴，并模糊了学科界限的边缘技术；MEMS是多学科交叉的前沿研究领域n1，它涉 及电子工程、机械工程、材料工程、信息工程、物理学、化学、光学以及生物医学等学科与技术。所以对 它的研究决不能简单地在原有技术上做适当的改进，而是要求开发者具有新的思维，因此研究和发展MEMS 276 2005年中国科协学术年会论文集 技术的难度很大。 微机电系统的发展将极大地促进各类产品的微型化、集成化与便携化、成数量级地提高器件与系统的 功能密度、信息密度与互连密度，大幅度地节能、节材。它将广泛地用于国防、航空、航天、生物医学、 制造业、交通、通信、农业、环保以及家庭。MEMS技术引起了世界各国科学界，产业部门和政府部门的高 度重视，被列入各国高技术发展规划，已经成为当今科技热点之一。展望2l世纪，MEMS也会像20世纪的 微电子技术给世界带来的影响那样，它的发展将可能引发一场新的产业革命。微机电系统的出现，对于发 展中的世界各国都是一次重大的历史机遇。我国的MEMS研究工作晚于发达国家，始于1989年，在国家” 八五”、”九五”计划期间，得到了国家自然科学基金委员会、国家科技部、教育部、中国科学院和总装备部 上教育部的教育振兴计划、中国科学院的知识创新体系、基金会和科技部新的立项以及地方和企业的投入， 预计总经费可达3亿人民币以上。这就是说，“十五”期间在MEMS方面的经费投入是“八五”、“九五”期 间经费总和的两倍。 虽然世界各国对MEMS的研究、开发投入了大量_的人力、物力，涉及领域也很广泛，由于实际应用的 难度远远大于其预想，到目前为止只有少数几项MEMS器件(或产品)达