热处理对Fe84Ga16合金薄膜中内应力的影响.PDFVIP

40 4 Vol. 40 No. 4 第 卷 第 期 2015 年 4 月 HEAT TＲEATMENT OF METALS April 2015 热处理对Fe84 Ga16 合金薄膜中内应力的影响 1，2 1，2 3 1，2 1，2 ， ， ， ， 晏建武 彭阿芳 罗 亮 曹清华 张丽玲 (1． ， 330099 ;2． ， 江西省精密驱动与控制重点实验室 江西 南昌 南昌工程学院微纳驱动与控制研究所 330099 ;3． ， 330063) 江西南昌 南昌航空大学航空制造工程学院 江西南昌 : Fe Ga ， SEM XＲD ， 摘要 采用磁控溅射技术制备了 84 16 薄膜并进行了退火处理 用 和 研究了薄膜的显微结构和内应力 计算了溅射态 。 ， A ， ， 。 和退火态薄膜的内应力 结果发现 溅射态和退火态薄膜都以 2 相存在 并随着退火温度的升高 择优取向变得愈加不明显 与退 ， ， 。 ， ， ， 火后的薄膜相比 溅射态薄膜内应力更大 且为压应力 低温退火后 薄膜内应力有一定程度的减小 随着退火温度的升高 薄膜内 ， 。 应力又逐渐回升 但回升的幅度不大 :Fe-Ga ; ; ; ; 关键词 合金薄膜 磁控溅射 退火 显微结构 内应力 中图分类号:TG156 文献标志码:A 文章编号:0254-6051 (2015)04-0085-04 Influence of heat treatment on internal stress of Fe84 Ga16 alloy film Yan Jianwu1，2 ，Peng Afang1，2 ，Luo Liang3 ，Cao Qinghua1，2 ，Zhang Liling1，2 (1． Jiangxi Province Key Laboratory of Precision Drive and Control，Nanchang Jiangxi 330099 ，China ; 2． Institute of Micro /Nano Actuation and Control ，Nanchang Institute of Technology ，Nanchang Jiangxi 330099 ，China ; 3． School of Aeronautical Manufacturing Engineering ，Nanchang Hangkong University ，Nanchang Jiangxi 330063 ，China) Abstract :Fe8