铝掺杂ZnO薄膜的溶胶凝胶法制备及气敏性能.pdfVIP

材料科学 铝掺杂ZnO薄膜的溶胶凝胶法制备及气敏性能木 孙猛1，2郝维昌1¨王天民1 1．北京航空航天大学材料物理与化学研究中心，北京，100083； 2．郑州轻工业学院技术物理系，郑州，450002 薄膜的晶体结构和吸收光谱．结果表明在400*(2以上热处理得到的ZnO纳米薄膜为纤锌矿结 构。在此基础上系统研究了A13+的掺杂浓度，气体浓度对ZnO薄膜气敏元件的影响．结果 表明，在A13+的掺杂浓度为0．5at％时气敏灵敏度最高，并且灵敏度随着浓度线性增加． 关键词凝聚态物理学；ZnO；气敏；溶胶一凝胶法 引 言 随着科技及工业的发展，在工业生产与日常生活中使用各种气体的数量和种类也不断增多。这些气体 如：氢、氧、液化石油气等都是易燃易爆的气体，有些还是有毒的，危害性很大。它们在运输和使用过程 中，若发生泄漏，则会引起大气污染、火灾和爆炸等重大灾害。由于上述原因，对气体的检测与控制就很 重要了，对各种气体的检测方法和气体传感器的研究就越来越多【惦】。ZnO薄膜由于具有宽带隙和良好的光 电、压电等