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轴承钢磁控溅射TiN涂层工艺参数对其性能的影响-表面技术
第43卷摇 第1期 摇 摇 摇 表面技术
摇 摇 2014年02月 SURFACE TECHNOLOGY ·67 ·
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轴承钢磁控溅射TiN涂层工艺参数对其性能的影响
1,2 1,2 1,2
熊晓晨 ,燕怒 ,韩晓琪
(1.三峡大学 水电机械设备设计与维护湖北省重点实验室,湖北 宜昌443002;
2.三峡区域能源装备三峡大学协同创新中心,湖北 宜昌443002)
摘摇 要: 目的摇 研究磁控溅射工艺参数,包括溅射功率、溅射时间,对TiN涂层轴承钢表面性能的影响。
方法摇 采用磁控溅射技术,固定其他工艺参数不变,分别以溅射功率和溅射时间为变量,在轴承钢GCr15
表面镀制TiN膜层,并测定硬度,进行摩擦磨损试验。 结果摇 固定溅射功率为200 W,随镀膜时间的延
长,硬度和耐磨性呈递减趋势,镀膜时间为5 ~10 min 时,硬度值达345.23 ~353.88HV,摩擦磨损量为
2.9~3.4 mg。 固定镀膜时间为30 min,随着溅射功率从70 W增大至200 W,硬度与耐磨性也呈递减趋
势,溅射功率为100 W 时,硬度值可达577.91HV,摩擦磨损量为0.9 mg。 结论摇 溅射功率的影响占主导
地位,且溅射功率不宜偏高。 欲提升材料表面硬度和耐磨性能,溅射功率取100 W,镀膜时间取30 min最
为适宜。
关键词:磁控溅射;TiN涂层;轴承钢;硬度;耐磨性
中图分类号:TG174.444摇 摇 摇 文献标识码:A摇 摇 摇 文章编号:1001鄄3660(2014)01鄄0067鄄04
Influence of Magnetron Sputtering Parameters on Surface Properties
of TiN鄄coated Bearing Steel
1,2 1,2 1,2
XIONGXiao鄄chen ,YAN Nu ,HAN Xiao鄄qi
(1.Hubei Key Laboratory of Hydroelectric Machinery Design Maintenance,China Three Gorges University,
Yichang443002,China;2.Collaborative Innovation Center for Energy Equipment of Three Gorges Region,
China Three Gorges University,Yichang443002,China)
ABSTRACT:ObjectiveTo investigatethe influenceof magnetron sputteringparametersincluding sputteringpower and sputtering
time on surface properties. Methods The hardness tests and friction tests were carried out for TiN鄄coated bearing steel. Results
Tests showed that hardness andwear resistance declined with the increase of deposition time,and when the sputtering power was
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