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用离子注入技术实现金属表面的改性 张树林 李争显 (研究生) (东北工学院) M etalSurface Characters Im provementvia the Technique of Ion Im plantation Zhang~hulin，LiZhenxiaa(postgraguate) (Northeas~University ofTechnology) A bstract A certain quantitiesofhigh energy ion isimplanted into the metalsurface， the ions wilt combine w ith m etal elements and some elements in vacuum 暑七mosphere，form a surface alloy on the metal surface．so Stcan improve the characters of m etalsurface． 0n the basis of variousexperim ents and-analyses． the improvement of the abrasion resistance for surface which N and Ti w illbe respectively im planted into carbon steel，N’into A l，Mo and Po into Ti，and the corrosion resistance which Ta’and Cr w illbe im planted into iron Cr and Mo+ into steel are descrided．Thedynam ic m ixed method ofvacuum coating plus ion implantation isa hopefuland new-technique forim provementof metalsurface ． 给金属表面注入一定的高能离子，这些离子与金属 中的元素以及真空气氛中的某 些 元素在金属表面形成一种表面台金．借以改善金属表面的性能。本文通过大量的实验 和 分析得知，在碳钢中分别注入 N 和 Ti．在铝中注入 N ，在铣中注入 Me 和 po~ 的表面耐磨性能的改善情况；在铁中注八 Ta 和 cr．在钢中注入 Cr+Mo+的表 面耐腐蚀性能的改善情况。本文提出用真空镀膜加离子注入的动态混台方法是金属表 面 性能改善的一种颇有前途的新技术． 主曩词；离子注入 裹面改性 一 、 弓l 言 自六十年代以来 ，由于宇航、电子对抗和各种功能的电子计算机的发展，对半导体器件 和 电路的生产提 出了更高的性能要求。原有的生产工艺已不能满足这一要求。离子注入技术 正是为适应这种需要而发展起来的一种半导俸掺杂新工艺。这一工艺的出现为集成电路的发 展起了巨大的推进作用。现在人们不仅用来向半导体内掺杂，而且还正在研究用来向金属 中 1989年 儿 月 13 日收到 — — 14 —— 掺入有效的元素，使金祸表面的性能有所改善 。用离子注入改进金属表面特性的技术，将会 成为冶金工业和机械加工工业的一场革命。 二、金属中的离子注入 离子注入就是从离子源发出的离子经过加速极加速到一定的能量，由磁分析器进行离子 选择 ，然后通过聚焦、扫描 ，最后打到靶片上 。图 1 是一个离子注入机 的示意图。离子或粒子的能量不同， 打到靶片上会产生不同的效应。如 图 2(1)所示 。对于 金属中的离子注入，其离子的能量要大于 l0keV。金 属 中的离子注入具有许多其