基于静电机制的MEMS液滴驱动器芯片研究.pdfVIP

基于静电机制的MEMS液滴驱动器芯片· 吴建刚岳瑞峰 曾雪锋刘理天 清华大学傲电子学研究所北京 100084 摘要：本文提出了一种基于静电机制的可编程微电板阵列液滴驱动器，它采用重搀杂多晶硅削备微 电极阵列，热氧化硅作为介质层，碳氟聚合物薄膜作为疏水层．通过控制施加电压的脉冲时序，操控电 极阵列上疏水层表面的液滴．在空气环境下，成功实现了液滴的快速传输，液滴传输速度可达24mm／s， 驱动电压仅为30v． 关键字：Ⅻ巳MS静电驱动微流体微全分析系统 1．引言 systems。MEMS) 为基础的微全分析系统(Micro-total．analysissystem，“TAS)，它的主要目的是对生物化学分析设备进行微型化 与集成化，并最大限度地将分析实验室的功能转移到便携式分析设备甚至微小芯片上来。通常，称这种多功 品卫生、环境监测以及分子生物学等领域的发展都具有非常重要的意义。 在微全分析系统或芯片实验室中，对微、纳升液体的精确操作和控制技术是其核心和关键。一般来讲， 流体操控可分连续流系统和离散流系统两大类。早期研究侧重对连续流的操作，主要有压电驱动【l】、气动驱 动[21、电化学驱动13】、剪切力驱动f4】及电渗驱动p】等方法。然而，由于传统连续流系统存在的局限性，近年来 对离散化微液滴的操作与控制睁11】在国际上日益成为研究的重点。离散化微液滴系统不同于连续流系统，它 能独立控制每个液滴，能耗低，甚至不需要复杂的三维流体通道，因此特别适用于高集成度、高性能、操作 复杂的微生化分析系统。 本文提出一种基于静电机制的可编程微电极阵离散液滴驱动器，它采用硅为衬底，重掺杂多晶硅作为微 电极阵列，热氧化硅作为介质层，淀积碳氟聚合物薄膜作为疏水层。在空气环境中，低驱动电压脉冲下成功 实现了液滴的快速传输。 2．原理 基于静电机制的离散液滴驱动器【lo】已经报道过，但其驱动电压需要400V，电极结构比较复杂，而 且需要三维流体沟道，因此不适用于便携式微流控系统。为了进二步降低驱动电压及简化驱动器结构， 本文提出了基于静电机制平面驱动器结构。见图I所示：在Si衬底上制备可编程电极阵列，为了避免电 极和液滴直接接触并得到较好的击穿特性，一层薄绝缘层沉积在电极上面作为介质层，并在介质层上淀 积疏水层。 在未加电势情况下，疏水性表面上液滴、空气和固体表面的三相接触角口(如图1)由杨氏方程表示： cos口：幺二堑 ‰ 其中：‰、％和‰分别是固体一气体、固体一液体和液体一气体之间的表面张力系数。一般来讲，在疏水 性材料表面液滴三相接触角都大于90度。对于离散液滴驱动器来讲，其值越大，驱动阻尼越小，越有利于 对液滴的操作和控制。 ·国家自然科学基金资幼项11t，清华大学基础研究资金(Jc2003060)． 478 图l基于静电机制驱动器的轮廓圈及截面图 图2描述了1X209极阵列的液滴驱动器传输原理示意图。初始状态下，电极V。、v2接零电位，且液滴主 要覆盖在V1电极上；当电势施加NV2电极上时，受外加静电场的作用，感应负电荷大部分集中在V2电极附近 的液滴表面，因此在电力线作用下，产生向右的驱动力，促使液滴向右传输；当撤去v2电极脉冲高电势并使 Vl，V2电极浮空，液滴随着惯性、表面张力及液滴迟滞作用停留下来。 图2基于静电机制驱动器的传输原理示意图 3．器件制备 该器件工艺过程与集成电路制造工艺相兼容：首先在1050C热氧环境下生长6000ASi02作为衬底绝缘 A多晶硅，并扩磷掺杂及光刻图形化， 层：接着利用低压化学气相淀积(LPCVD)方法在Si02表面沉积6000 形成微电极阵列，电极单元大小为1X ASi02作为介质层：最后 l(mm2)；‘然后在多晶硅表面热氧生长1000 在介质