单载流子传输的双异质结光敏晶体管探测器的研究.PDFVIP

物理学报 Acta Phys. Sin. Vol. 62, No. 22 (2013) 228501 单载流子传输的双异质结光敏晶体管探测器的研究* 12† 1 2 1 1 1 1 霍文娟 谢红云 梁松 张万荣 江之韵 陈翔 鲁东 1) ( 北京工业大学电子信息与控制工程学院, 北京 100124 ) 2) ( 中国科学院半导体研究所, 材料重点实验室, 北京 100083 ) ( 2013 年8 月5 日收到; 2013 年8 月25 日收到修改稿) 基于器件仿真器Atlas, 建立了InP/InGaAsP 单向载流子传输的双异质结光敏晶体管(UTC-DHPT) 的二维模型, 分析讨论了器件性能与外延结构参数的关系. 设计出同时具有高响应度( 1793 A/W) 和高特征频率( 12168 GHz) 的UTC-DHPT, 缓解了传统的异质结光敏晶体管光电探测器中探测效率和工作速度的矛盾. 关键词: 单向载流子, 光敏晶体管, 电流放大倍数, 响应度 PACS: 85.60.Dw, 85.60.Bt, 73.40.Kp DOI: 10.7498/aps.62.228501 812 13 范围 . Shi 等 制作了一种背对背UTC-PD, 1 引言 其在40 GHz 频率范围内都能保持0.83 W/A 的高 14 响应度. Rouvalis 等 报道了一种适用于光子集 近年来, 宽带综合业务网和射频光通信系统 成的UTC-PD, 其3 dB 带宽达 170 GHz. 利用器件 (ROF) 的迅猛发展要求光探测器有高速率、高响应 15 的超高速特性, Ito 等 制作了基于UTC-PD 的 1 度、高增益和低噪声等性能 . 20 世纪90 年代提 太赫兹(THz) 波发射器, 在500 GHz 频率下获得了 出的异质结光敏晶体管(HPT), 一方面使用异质结 17 W 的THz 功率, 在 1000 GHz 频率下获得了近 双极晶体管(HBT) 器件结构, 集成光探测和电放大 3 W 的THz 功率. 虽然对UTC-PD 的研究已经较 两种功能; 另一方面, 用于ROF 基站的HPT, 在光 为广泛, 但是将UTC 思想运用到HPT 的报道很少. 探测吸收的同时, 利用其非线性还可以完成注入锁 16 定、混频、变频等功能25 . 基于这些优异的特性, 2009 年, Wang 等 报道了边耦合InP/InGaAsP 基 UTC-HPT 的实验结果, 展示了这种器件优异的非 HPT 自提出以来就引起了人们的关注, 并且可