TaN离子高能束注入W18Cr4V高速钢表面性能和机理的研讨.pdf

第叫届中国热处理活动周暨第九届江苏省热处理年会论文集(2006年5月，南京) Ta，N离子高能束注入W1 曹 炜1，冒心远1，马琴琴1，陈庆川2 (1．中国矿业大学材料学院，2核jI：业两南物理研究院) 摘要：w18Cr4Vl荔速铡【丈I其具有i箭的硬度、韧性、红硬性和耐磨性能，在T业中被广泛用于制作7J具和T模 i岛速铡耐磨性能的良好方法。在本次研究中．在W18Cr4V高速钢的表 具。离了注入技术是一种提高W18Cr4V 面分别进行了Ta和Ta、N离子注入。通过测试表面摩擦系数和x射线衍射来分析注入后试样表面的性能和物相。 发现离子注入后试样表面的摩擦系数显著降低，而且Ta、N离子共同注入试样的摩擦系数降低的最多。这种摩擦 系数的降低要归冈于在表面都形成了Fe，Ta3化合物，而Ta、N离子共刚注入试样的表面还形成了硬度较高的Fe2N。 关键词：离了注入高速钢摩擦系数x射线衍射 高速一r：具钢具有高的红硬性和耐磨性，能满足通用切削i12具的性能要求，在刀具及：[模具的制造中I‘i 主要地位。 W18Cr4V高速钢是当今应用比较广泛的一种合金工具钢。除此之外，还用于制作高温下工作的弹簧、 轴承和模具。它的性能取决于自身的合金元素含量和热处理工艺。在600。C时，仍能保持较高的硬度。 离子注入是现代表亟改性技术中的一种。与其他表面处理技术相比显示了诸多优点。与物理或化学气 相沉积相比，它的主要优点是：(1)表面硬化层与基体结合强度高，抗机械、化学作用能力强，表层不 易剥落：(2)离子注入过程中，不要求升高基体温度，从而可以保持工件的不变形和尺寸精度；(3)_1： 艺重复性好等等。 及摩擦磨损性能得到改善。本文通过对离子注入试样和未进行离子注入的试样进行对比试验研究，旨在说 明钽离子及钽、氮离子的注入对W18Cr4V高速钢表面改性的影响，并分析了注入钽和钽、氮离子的机理。 1 实验方法 1．1实验材料 16mm的小圆柱体试样，共9个，分成3组，不进行离子 实验用材料为W18Cr4V高速钢，口15mmX 注入的3个、注入钽的3个，钽、氮共同注入的3个。其中不注入的试样做晶相腐蚀和金相分析，观察组 织。注入钽和钽、氮共同注入试样做x射线衍射，分析注入试样表面的物相。 1．1．1热处理工艺 高速钢一般采用高温淬火(油淬)+高温回火的热处理工艺。 选用常用的淬火温度1280C，实验选用的是箱式电炉加热，选用淬火介质为油，而回火则采用560。C， 同火3次。 高速钢的淬火加热通常需要进行预热，以减小热应力和缩短高温加热时间。形状简单而且尺寸较小的 ．1：具可采用一次预热，预热温度一般为800～850C，预热时间通常为高温加热时间的2倍。 1．2．2离子注入前的预处理 所有试样表面经机械研磨，砂纸研磨后，抛光至Ra、0．049m，然后用超声波按先后次序在酒精、丙酮、 酒精中各清洗30分钟，选择电流为3A。然后，在烘干箱内烘干，然后把试样放入有干燥剂的干燥器皿中， 准备注入。 1．3离子注入工艺 273 离子注入是在核jI：业两南物理研究院研制的多功能离子注入机中进行的。其真空室尺寸为口900× 1600ram，两端为可开启的活动门，jI：件样品台可三维转动和直线运动，并采用水冷。 1．3．1注入设备的组成 该机由主机系统、电源系统、控保测量系统及附属设备组成。主机系统包括真空室、低能溅射气体离 子源(简称溅射源)、高能注入气体离子源(简称气体源)、高能金属蒸汽真空弧源(简称金属源)、低能 清洗气体离子源(简称清洗源)、工件转动台、离子束总流测量系统和离子束密度分布测量系统以及真空 抽气机组。电源系统包括离子源头部电源、离子源抑制电源、引出电源、加速电源、工件靶和真空抽气机 组电源等。气体源和金属源的头部电源安装在各自的高压舱内。它们的加速电源(电动调压器在电源柜内) 就近独立放置在高压舱旁。其它电源安置在电源柜内。所有电源的控制和调节、电源参数和故障状态的显 示，均在计算机上完成。弱电部分的电路板安置在电源柜内。附属设备主要有供气系统、高压水桅流圈、 水冷系统。 1．3．2注入参数 在注入前的准备。]：作中，计算注入时离子注入机的j||：作参数是十分重要的