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波导薄膜厚度测量原理的理论分析 赵毅红, 陈荣发 (扬州大学机械工程学院, 江苏 扬州 225009) 摘 要: 运用电磁场理论对金属波导膜厚测量的原理进行了详细分析, 并且研制了一台膜厚测量仪, 理论和实 践表明: 可以通过测量复合金属波导膜系励磁电流的脉冲波形来控制薄膜的生长厚度。 关键词: 膜厚测量; 波导薄膜; 电磁场理论; 励磁电流 中图分类号: TB 43 文献标识码: A 文章编号: 100220322 (2005) 0120025203 Ana ly s is of the pr in c ip le of th ickn e ss m ea surem en t of wa vegu ide ir is ZHA O Y i2ho n g , C h en R o n g 2fa (T h e M ech a n ica l E n g in ee r in g C ol leg e, Y a n g z h ou U n iv e rs ity , Y a n g z h ou 225009, C h in a ) A bstra c t: A na lyze s in de ta il th e p r inc ip le o f th ick ne ss m ea su rem en t o f m e ta llic w avegu ide ir is by m ean s o f th e e lec t rom ag2 ne t ic f ie ld th eo ry. A co nc lu sio n is d raw n th a t th e th ick ne ss o f com po site m e ta llic w avegu ide ir is can be co n t ro lled by m ea su r2 ing it s p u lse w avefo rm o f exc t ing cu r ren t. Key word s: th ick n e ss m ea su rem en t; w avegu ide ir is; e lec t rom agn e t ic f ie ld th eo ry, ex c it in g cu r ren t 对非平面器件 ( 如柱形、方形等器件) 表面的薄 膜厚度进行测量、控制, 并且能消除电量噪音的影 响, 这是提高膜厚测量精度、拓宽测量范围的一个关 键问题1, 2, 7 。 复合金属波导膜系的制备工艺控制已 有文献报道1 , 本文通过电磁感应理论分析了在感 应线圈内, 不同厚度的薄膜产生的励磁电流不同, 从 而改变输入脉冲电流的波形, 根据输出脉冲电流波 形的幅值和频率 ( 脉宽) 控制薄膜的生长厚度, 实现 薄膜厚度的测量与控制, 推导了线圈的自感电流、波 导薄膜的感应电流、锂铁氧体棒产生的磁滞电流的 计算公式, 从理论上说明了该方法可以减少外部温 度、电量噪音、残余气体的分压和机械振动对测量结 果精度的影响, 使该测量方法满足重复性好、测量系 统稳定性高的要求, 可以满足实际生产科研的需求。 由于圆柱复合金属膜系置于驱动线圈内, 整个 移相器波导相当于一个变压器耦合电路, 波导壁为 次级短路单压绕组, 在移相器相位变化过程中, 波导 壁中将产生感应电流 ( 或称阻尼流) , 其对驱动磁场 有抵消作用。 等效电路如图 1 所示。 图 1 驱动器的等效电路图 F ig. 1 E qu iva len t c ircu it o f d r ive r 2 其中 R S 为外线路电阻。L 为自感线圈。n R 为 波导薄膜电阻。由图 1 可知, 驱动器提供的总电流 I 由线圈的自感电流 I 1 , 波导薄膜的感应电流 I 2 和锂 铁氧体棒产生的磁滞电流 I 3 三部分组成。 ① 线圈的自感电流 I 1 由电磁场理论可知, 对单匝线圈而言, 在磁感强 度为 B 的磁场中, 通过磁场中某一曲面 S 的磁感线 数就是通过该曲面的磁通量, 用 Υ1 表示, 且 Υ1 = B S co sΗ Η为法线矢量与 B 之间的夹角, 取 Η= 90°, 即平 面法线矢量 n 与 B 垂直, 则对 n 匝线圈自感电流的 波导膜厚测量的理论分析 由于金属波导膜系的基材一般都采用锂铁氧体 棒旋磁材料, 制备方法采用直流磁控溅射, 薄膜材料 采用 C Λ2T i 复合金属, 膜系厚度控制在电磁波趋肤 厚度的 3 倍左右5 。 过薄, 易引起微波能量外泄; 过 厚, 不能保证快速磁化场穿透波导壁, 而且功率损耗 明显增加, 因此在圆柱锂铁氧体棒表面沉