离子注入掺碘聚醚砜薄膜的红外光谱分析.PDFVIP

维普资讯 第 22卷 第 3期 徐州师范大学学报 (自然科 学版) VoI．22，No．3 2004年 9月 J．ofXuzhouNormalUniv．(NaturalScienceEdition) Sep．．2004 离子注入掺碘聚醚砜薄膜 的红外光谱分析 岳喜成 (宝鸡文理学院 物理系，陕西 宝鸡 721007) 摘要：测定 了未注入掺碘聚醚砜 (PES)膜和离子注入掺碘 PES膜的红外光谱 ．发现两者红外光谱不 同．离子注入使 掺碘 PES膜 的C—S键和C一0键断裂 ，但对掺碘 PES膜的苯环没有破坏作用．Ar(苯环)一0一Ar吸收峰经离子注入后 向低波数位移是由于离子注入导致键断裂 ．挥发性物质放 出和富碳层的出现，并伴随着膜 的致密化，使分子问的作用力 显著增大．膜结构的变化引起了膜的电学 和光学性质 的变化． 关键词 ：离子注入 ；表面 电导率 ；聚醚砜 (PES)；红外光谱 中图分类号：O631．2 文献标识码 ：A 文章编号 ：1007—6573(2OO4)O3一OO37一O4 用 15keV 的N 和 Ar注入 PES，纯PES膜表面电导率提高了5个数量级，掺碘 PES膜表面 电导 率提高4个数量级，光吸收率也有很大的增加L1]．这是因为离子注入引起聚合物断链 ，产生 自由基和挥 发性气体 ，形成富碳层 ；链 的断裂使注入层 中高分子的分子量降低 ，注入层 中分子量分布展宽 ；同时注入 的离子也以掺杂的形式留在注入层 中；其综合效应 ，引起 了注入层 的电学和光学性质的变化．由于实验 中所用的系统真空度 比较低 (～1．33×10_‘Pa)，同时气体分析仪精度不够高，未能观察到气体 的逸 出． 国外在中能和高能离子注入中，已报道用四极质谱仪可探测到有挥发性气体放出。本实验用 15keV的 N+和 Ar注入掺碘 PES膜，测定了未注入和离子注入掺碘PES膜的红外光谱．红外光谱变化说 明，离 子注入引起 了高聚物 的结构发生 了变化 ，膜结构的变化又导致 了膜的电学和光学性质的变化． 1 薄膜制备及离子注入 取聚醚砜粉末 5．16g，倒入 2Oml二 甲基 甲酰胺与 1．5ml碘酒的混合溶液 中，搅拌使其溶解均匀． 将 已打磨和用酒精清洗的铝合金基片固定于甩膜 台上，用 100W 灯泡烘烤几分钟 ，滴 已配制好 的高聚 物溶液于基片上，调节 电机 电压到 180V，使基片高速旋转几秒钟 ，利用离心力将 PES溶液均匀地甩在 整个基片上 ．然后将甩好 的膜片放入加热炉 内，在 100℃左右烘烤 15min，使溶剂二 甲基 甲酰胺挥发 掉，在基片上形成呈淡黄色的掺碘 PES膜． 本实验采用 了西安交通大学 电子束离子束教研室 自行研制的30keV低能离子注入机．取一做好 的 膜片 ，放入离子注入机靶室，抽真空至 4×10 Pa时，打开氮气或氩气 阀门，通过针 阀调节进气量 ，使注 入机 内压强稳定在 9．31×1O ～1O．6×1O Pa之间 (此时离子源放 电效率最高)，加弧压 200V，磁场 电流 3A，调节灯丝 电流来控制弧流在 0．2～0．5A之间，加 15kV高压进行注入 ．根据注入束流及所需 注入剂量来计算所需注入时间 ￡一DSq／I，其 中S为注入面积 ，D为注入剂量 ，J为注入束流，q为离子所 带 电量．本实验 中注入面积为 S一5．307cm。(一2．60cm)．注入完毕后 ，即得到一定剂量 的注 N 或注 Ar 的样 品 引． 2 15keVN+或 Ar+注入聚醚砜薄膜的射程分布和能量淀积估算 据 LSS(LindhardJ，ScharffM 和SchiottH E)理论 ，可估算出 15keV的N 或Ar注入聚醚砜薄 膜的射程分布(见表 1)． 15keV 的N 或 Ar 注入掺碘聚醚砜薄膜时，与掺碘 PES膜 中的氧、硫 、碳、氢原子相互作用，将能 收稿 日期 ：2004—04—01 基金项 目：陕西省教委专项科学研究基金资助项 目(98JKOO8) 作者简介：岳喜成(1962一)，男，陕西宝鸡县人，讲师，硕士，主要从事物理电子学和光电子学的研究．