气冷式直排大气罗茨真空泵及机组的应用选型.docx

气冷式直排大气罗茨真空泵及机组的应用选型曹羽陈海(浙江真空设备集团公司)Se lec t ion of Ga s- c ircula t ion Coo led Roo ts Va cuum Pum p s an d Pum p in g Un itsC a o Y u , C h en H a iy a o(Zh e jian g V acu um E qu ipm en t (g ro up ) Co rp. )A bstra c tT h is p ap e r in t ro duce s th e w o rk ing2p e rfo rm ance and th e se lec t ing2p r inc ip le o f ga s2c ircu la t io n coo led roo t s vacuum p um p s p um p ing un it s. W e d iscu ss som e exam p le s to g ive u se r refe rence s w ho w an t s to u se th e p um p s and p um p ing un it s a s h igh eff ic iency, low pow e r co n sum p t io n, noco n tam ina t io n p um p ing sy stem.摘 要本文介绍气冷式直排大气罗茨真空泵及机组的工作特点及应用选型。 旨在通过范例的分析, 为不同的用户使用气冷式直排大气罗茨真空泵, 充分发挥该泵的抽速大、耐压高、无 污染、低功耗的优点, 提供可参考的范式。主题词: 罗茨真空泵机组选型一、前言气冷式直排大气罗茨真空泵又名预进冷气式罗茨真空泵 (以下简称气冷罗茨泵)。 气冷罗茨泵由于结构的特殊设计, 保证了泵内部的压缩热得到完全的平衡, 因此可在近一个大气压的 高压差下工作 (许用压差达 8. 7×104 P a ) , 可以直接向大气排气。具有抽速大、耐压高、无污染、 低功耗等项特点, 近年来已在广泛的领域得到应用。气冷罗茨泵除了在部分工作场合直接使用单泵外, 在大多数工作场合, 均组合成各种机组(以下简称气冷罗茨机组) , 以满足不同工况的需要。 因此, 合理选型是发挥其优越性能的关键 所在。 由于篇幅有限, 本文结合本公司的实践, 对选型原则及实例结果作一简要介绍。二、组合方式表 1 所示为气冷罗茨泵及机组的各种组合方式。 表中给出了不同组合方式所能达到的极限压力、推荐使用的工作压力范围以及适用工况。三、工作特点气冷罗茨泵的工作特点主要有三个方面:11 气冷罗茨泵不论是单泵工作或组成机组, 其功耗与工作压差成线性关系。 这一特性使收稿日期 1997202217邮编 空第 3 期该泵在工作过程中功耗与实际工作压差完全实现同步变化, 从而可以达到节能的目的。因此在稳定工作时的压差越小, 长期功耗越小。 但由于该泵将直接在高压强下运行并排向大气, 故应 按泵可能承受的最大压差选取电机: 单泵使用, 可按大气压 (即排气压力) 与工作压力差值选取 配套电机; 组成机组, 应按配比计算出泵可能承受的最大压差选取配套电机。表 1 气冷罗茨泵及机组合方式表Table 1. Pre ssure ran ge table of L Q ser ie s○ 工作压力▲ 极限压力21 气冷罗茨泵不论是作为机组的主泵或是中间泵, 低真空范围内将由气冷罗茨泵直接向大气排气。 这一特性使气冷罗茨机组的抽速从大气压开始即取决于气冷罗茨泵而不是前级机 械泵, 从而使机组抽速得到大幅度提高。 因而对大负载抽气以及需加快抽气时间以提高 工作 效率的工况, 具有特殊的意义。 大负载抽气的工况中, 一般采用大型气冷罗茨泵作为机组的主 泵或中间泵; 加快抽气时间的工况中, 即使小型气冷罗茨泵也会有很好的用武之地。31 气冷罗茨泵作为机组前级泵时, 可取代油封泵、液封泵从而组成全罗茨机组。这一特性 使气冷罗茨泵可与普通罗茨泵形成大型无介质无污染机组, 特别适用于需防止被抽介质对工作介质产生污染或需防止工作介质对被抽介质产生污染, 以及其他对工作介质有严格要求的工作场合。四、设计选型11 节能的设计选型(1) 单泵使用气冷罗茨泵单级工作时, 其进口压力可以从 1×105 P a ( 760T o r r) 一直工作至 1. 33×104 P a ( 100T o r r)。 泵的性能见图 1。 单泵工作时, 配用电机功率可按“工作压差= 大气压- 工作压 力”选取。由于泵可根据工作压差配用电机, 因此在该范围内该泵较普通油封泵、液封泵或水蒸 汽