电磁型超微马达设计中若干问题的研讨研究.pdfVIP

电磁型超微马达设计中若干问题的研讨 张 璨 上海交通大学信.怠存储中心 1 前 言 微电子机械系统 (MEMS)是80年代末发展起来的新型学科，其应用前景十 分广阔，倍受发达国家政一4和学者的重视并纷纷投入巨资进行开发和研究，可 望成为21世纪初的支柱产业。微马达是微电子机械系统中的关健部件之一，其 性能的优劣和体积的大小将直接影响到它的性能指标.自1988年美国加州大学 科学家成功地研制成转子直径为120微米的静电型减马达启，虽然它的寿命仅 一 一 芳蔽秒钟万但育士引趁子学术界极大地重视玲近年来经过许多科学家的不娜努 力，已有多种形式的微马达相继问世，(如静电型、电磁型、超声波等等)。其 中电磁型微马iti#1于其输出力矩大，运行寿命长，转换效率高以及转速可调， 转向可逆等一系列优点而倍受人们青睐。如何更好地设计高性能的电磁型超微 马达已成为该领城内关健问题之一 1995年上海交通大学成功地研制出直径 2 毫米，高0.7毫米的超微马达;1998年上半年又成功地研制出直径仅 1毫米的 电磁型超微马达，该马达的转速可达到 6000转/分，运行平稳，转向可逆，并 能驱动一对直径分别为 1.Smm和 3mm的微齿轮.我们总结了上述两种马达研制 过程中的经验教训，对超微型马达设计中的若千问题提出一些相应看法.供同 志们参考。 2 磁路设计 马达磁路计算是一个复杂昨线性问题，要精确计算十分困难，且在工程计 算中也无此必要，故一般均采用近似计算方法.对一般中小型马达的设计，经 过多年的经验积系，各制造厂家及有关设计单位均有一套经验数据和曲线图表 供设计参考，目前技术已相当成熟.就磁通的方向而分，超微马达 (这里指的 是直径分别为lmm一3mm的微马达)可分为径向磁通和轴向磁通两种.如图1所 示.由+超微马达定子绕组的加工方法通常均采用微细加工工艺，马达的高度 很薄，轴向磁通可获得较大的愉出力矩及电磁转化效率.因此本文重点讨论轴 向磁通的微马达的磁路设计. 轴承 轴 转子 趁兰参卜竺层 、底板 a.轴向磁场微马达 b、径向磁场微马达 图 1 电磁型微马达的结构分类 众所周知，气隙磁通是马达设计中的一个重要参数.加大气隙磁通密度 (在 超微马达中尤为重要)的关键是选择高性能磁性材料和磁路优化设计.由于微 细加工工艺要求，超微马达的定子绕组设计成集中无槽绕组.这样一来，超微 马达的气隙应包含通常所指的定转子之间的气隙及由定子绕组所占据的空间两 大部分.在超微马达 中，为了提高其输出力矩，定子绕组往往设计成多层以增 加定子绕组的匝数 (如2层，4层，直至6层);而为了要减少微马达的功耗， 就要求把每层定子的绕阻设计得很厚以减少马达绕组的电阻.因此微马达的绕 阻所占据的空间高度往往大于定转子之间的气隙.例如，我们研制的直径 2毫 米的超微马达定子为 4层绕阻，总厚度达 120微米;而定转子之间气隙一般控 制在50微米左右，远小于定子绕组的厚度。所以在超微马达说计中，一定要考 虑到定子绕阻所占的空间.深入研究表明，多极永磁转子在马达气隙中的磁通 密度，随着气隙厚度 的增加要不断地衰减，如图2所示.因此在微马达的多层 绕阻中，各层绕阻的磁通密度是不同的，在设计中要根据超微马达具体的性能 指标综合考虑定子绕组的层数，每层厚度及磁通密度之间的关系。 磁通密度 (T) 0.8 r- - 0 7 0 6 0 5 0 4 C 3 ﹄ n