位移与速度测量传感器PPT.ppt

4.3.3电容式传感器的应用 4.3.3电容式传感器的应用 4.3.3电容式传感器的应用 置于磁场中的载流导体，当它的电流方向与磁场方向不一致时，载流导体上平行电流和磁场方向上的两个面之间产生电动势，这种现象称为霍尔效应。 4.4 霍尔位移传感器 4.4.1 霍尔传感器结构与工作原理 霍尔式传感器基本原理 载流子在磁场中受到洛伦兹力的作用而发生偏转，从而形成电场E，当载流子受到的电场力与洛伦兹力达到动态平衡时，累积电荷形成稳定的电势UH 。 其中 —— 霍尔常数 —— 磁场与元件平面法线方向的夹角 d —— 与磁场方向一致的霍尔元件厚度 由 得知，d 越小， 越大，则感生电动势越大，故一般霍尔元件是由霍尔系数很大的N型半导体材料制作的薄片，厚度微米级。 霍尔式传感器的结构 4.4.2 霍尔传感器主要参数 （1）额定控制电流IH （2）灵敏度KH （3）不等位电势U0 （4）输入电阻Ri和输出电阻Ro （5）霍尔电势温度系数α （6）工作温度范围 4.4.2 霍尔传感器主要参数 额定激励电流和最大允许激励电流 当霍尔元件自身温升10度时所流过的激励电流 以元件最大温升为限制所对应的激励电流 输入电阻和输出电阻 激励电极间的电阻 电压源内阻 不等位电势和不等位电阻 当霍尔元件的激励电流为I时，若元件所处位置磁感应强度为零，此时测得的空载霍尔电势。 不等位电势就是激励电流经不等位电阻所产生的电压。 寄生直流电势 霍尔电势温度系数 UH IH Ri Ro 部分国产霍尔元件型号及参数表 型号 最大霍尔输出电压 mV 灵敏度 mV·(mAkGs)-1 输入电阻 Ω 输出电阻 Ω 不等位电势 mV 灵敏度温度系数 ℃-1 霍尔电势温度系数 ℃-1 工作温度范围 ℃ HSJ-1A 250 2～5 ＜400 ＜400 ≤1 2×10-4 -5×10-4 -55～+125 HJS-2 2000 10～20 0.2～2000 0.2～2000 0.02～10 2×10-4 3.5×10-3 -50～+250 HJS-3B 750 10～15 0.5～1000 0.5～1000 ≤0.5 2×10-4 -5×10-4 -55～+125 HJS-5 2000 ＞40 0.2～2000 0.2～2000 0.02～10 2×10-4 3.5×10-3 -50～+250 HZ-1 1.4±0.2 110(±20％) ＜1 5×10-4 -0～+60 4.4.3霍尔传感器测量电路与误差补偿 1. 测量电路 （1）霍尔元件及符号 4.4.3霍尔传感器测量电路与误差补偿 （2）测量电路 图4-35 霍尔元件基本测量电路 4.4.3霍尔传感器测量电路与误差补偿 （3）霍尔传感器直流放大电路 4.4.3霍尔传感器测量电路与误差补偿 2.误差补偿 （1）不等位电势及其补偿 图4-37 霍尔元件等效电路 4.4.3霍尔传感器测量电路与误差补偿 2.误差补偿 （1）不等位电势及其补偿 图4-38 霍尔元件不等位电势的补偿电路 4.4.3霍尔传感器测量电路与误差补偿 2.误差补偿 （2）温度误差及其补偿 图4-39 霍尔元件温度补偿方法 霍尔器件在x方向上长度为b，x0 是位于气隙下的初始长度。此传感器常采用差动结构。 4.4.4 霍尔传感器应用 图4-41给出的是线性霍尔元件放大电路。它将霍尔输出电压放大到5V。 4.4.4 霍尔传感器应用 图4-41 线性霍尔元件放大电路 4.4.4 霍尔传感器应用 4.5 光栅传感器 4.5.1光栅结构与种类 光栅是在透明的玻璃上刻有大量相互平行、等宽而又等间距的刻线。没有刻线的地方透光（或反光），刻线的地方不透光（或不反光）。图4-43所示的是一块黑白型长光栅，平行等距的刻线称为栅线。设其中透光的缝隙宽度为a，不透光的缝隙宽度为b，一般情况下，a＝b。图中w＝a+b称为光栅栅距(或光栅节距、光栅常数)，它是光栅的一个重要参数。对于圆光栅来说，除了参数栅距之外，还经常使用栅距角。栅距角是指圆光栅上相邻两刻线所夹的角。 图4-43 光栅结构 4.5.1光栅结构与种类 光栅按其用途分长光栅和圆光栅两类。 刻画在玻璃尺上的光栅称为长光栅，也称光栅尺，用于测量长度或几何位移。根据光线的走向，长光栅还分为透射光栅和反射光栅。 透射光栅是将光栅线刻制在透明材料上，通常选用光学玻璃和制版玻璃。反射光栅的栅线刻制在具有强反射能力的金属上，如不锈钢或玻璃镀金属膜（如铝膜），光栅也可刻制在钢带上再粘结在尺基上。 刻画在玻璃盘上的光栅称为圆光栅，也称光栅盘，用来测量角度或角位