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一种类富勒烯碳膜与不同偶件对摩时的摩擦学行为及其机制研.PDF

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    第卷第期摩擦学学报年月一种类富勒烯碳膜与不同偶件对摩时的摩擦学行为及其机制研究王霞王鹏张斌杨生荣张俊彦中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室甘肃兰州中国科学院研究生院北京摘要采用磁控溅射钛靶以甲烷和氩气为前驱体在单晶硅片表面制备了类富勒烯碳薄膜采用高分辨率透射电子显微镜对薄膜的微观形貌进行了表征采用纳米压痕仪测定了薄膜的硬度及弹性回复在球盘微摩擦试验机上考察了薄膜与不同偶件球球钢球对摩的摩擦学行为结果表明薄膜具有类富勒烯结构特征薄膜的硬度为对应的弹性回复高达薄膜的摩擦性能与摩擦偶件相

    第 28 卷第 4 期 摩 擦 学 学 报 Vol. 28　No. 4 2008 年 7月 Tribo logy Ju ly 2008 一种类富勒烯碳膜与不同偶件对摩时的 摩擦学行为及其机制研究

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