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2018-01-12 发布于上海
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厚样品电子断层成像中的电子透过率非线性效应.pdf

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厚样品电子断层成像中的电子透过率非线性效应

第45卷第6期西安交通大学学报 V01．45No．6 7 XIAN UNIVERSITY 2011年6月 OF JIAOTONG JOURNAL Jun．201l 厚样品电子断层成像中的电子透过率非线性效应曹猛，李瀛台，张海波，王芳 (西安交通大学电子物理与器件教育部重点实验室，710049，西安) 摘要：为提高透射电子显微术中厚样品电子断层成像的质量，研究了电子透过率与样品质量厚度之间的非线性关系对厚样品电子断层成像的影响．在微米量级厚样品电子透过率实测结果的基础上，通过计算机模拟生成系列投影像并进行了图像重构．模拟结果表明，电子透过率的非线性会在重构结果中产生伪结构，投影值偏离量随投影位置的变化率与伪结构相关．进一步评价了样品在不同倾斜角度范围时电子的非线性透过率对图像重构质量的影响，发现这种影响随样品倾斜角度增大而增强，并有可能降低图像重构的质量．关键词：断层成像；透射电子显微术；非线性效应；厚样品 TheNonlinearEffe}ctofElectronTransmissioninElectron forThick TomographySpecimens CAO Haibo，WANG Yingtai，ZHANG Fang Meng，LI for ElectronicsandDevicesofthe of (KeyLaboratoryPhysical MinistryEducation， Xi’an JiaotongUniversity，Xi’an710049，China) electrontransmission Abstract：Nonlineareffectsbetween andmassthicknessonthe of quality electron thick arestudiedto the oftheETfor tomography(ET)forspecimens improvequality thick intransmissionelectron seriesof are sim— specimens microscopy．Aprojectionsproducedby thenusedto basedonelectrontransmission microns- ulationand reconstruct the images through thick isfoundfromsimulationthatartifactsdueto existintherecon— specimens．It nonlinearity