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第33卷增刊 中 国 激光 V01．33，Suppl．
2006年3月 CHINESE0URNALoFLASERS March，2006
J
文章编号：0258—7025(2006)Supplement一0423—04
高功率紫外激光精密切割
阳建华，陈继民，左铁钏
(北京工业大学激光工程研究院。北京100022)
摘要为了得到满足微电子工业应用的微细薄膜器件，以实验的方法分析和研究了影响紫外激光切割金属薄膜的
切割质量的主要因素，介绍了针对金属薄膜柔性系数高、容易变形等特点而采取的特殊的金属薄膜装夹方法。结
果表明，在金属薄膜的紫外激光精密切割过程中，针对不同种类的金属薄膜选择合适的紫外激光输出功率及最佳
切割速度有助于减少切缝宽度，获得较好的切缝质量；同时对金属薄膜选用合适的装夹方法，保证金属薄膜在精密
切割过程中平整无变形，可有效地提高切割精度及微细薄膜器件Jj,-r_的成功率。。
关键词激光技术，激光加工，精密切割，工艺参量I薄膜
中图分类号TN249；TG485文献标识码A
PowerUltravioletLaserPrecision
High Cutting
YANG Tie—chuan
Jian-hua，CHENJi—min，ZU0
(ResearchInstituteofLaser 100022．China)
Engineering，BeijingUniversity0，Technology，Be何ng
out
AbstraetInordertomeetthedemandofmicrofilm inmicroelectronicindustry。aseriesof werecarried
apparatus experiments
kerfwidth studied．
ontheultravioletlaser thinmetaIfilm．andtheeffectsoflaser onthe and were
cutting cuttingparameters quality
atthe flexibleeOeffieientand deformedetc．characteristicsofthinmetaIfilm．aspeciaI andcuttingequipment
Aiminghigh easy clamp
that the ultravioletlaser tothekind
wasintroduced．Theresultsshowed the of power precise
duringprocesshigh cutting，according
to thekerfwidthand
andthicknessofthinmetalf
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