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加速度传感器薛婉莹加速传感器1.加速传感器的应用(手机)2.加速传感器原理3. MEMS三轴加速传感器加速传感器 (accelerometer)MEMS micro-mirroraccelerometer加速传感器 (The acceleration sensor)微信摇一摇利用手机摇晃来玩游戏图像切换计步器加速传感器 原理加速传感器 原理——压电式压电效应(P191)设质量块作用于压电元件的力为F上,支座作用于压电元件的力为F下,则有图1? 加速度传感器的组成框图由上式可得晶片中厚度方向(z方向)任一截面上的力为式中d为晶片厚度。则平均力为?因晶片为压电陶瓷,极化方向在厚度方向(z方向),作用力沿着z方向,故此时外加应力只有T3,不等于零,其平均值为?选用D型压电常数矩阵,得电荷加速传感器 原理——压阻式加速传感器 原理——压阻式加速传感器 原理——压阻式加速传感器 原理——压阻式本系统的信号检测电路采用压阻全桥来作为信号检测电路,如图所示电桥采用恒压源供电,桥压为Ue。设R2、R4为正应变电阻,R1、R3为负应变电阻,则电桥的输出表达式为:由于制造工艺一致,默认电阻的阻值和阻值变化量相等,即:则电桥输出的表达式变为:加速传感器 原理——电容式当加速度a=0时,质量块位于平衡位置,两差动电容相等,即当加速度a不为0 时,质量块受到加速度引起的惯性力产生位移x,两差动电容间隙分别变为可得差动方式时总的电容变化量为加速传感器 原理——电容式质量块由于加速度造成的微小位移可转化为差动电容的变化,并且两电容的差值与位移量成正比。可得输入加速度a和差动电容变化的关系为由加速度变化到敏感电容变化的灵敏度为电容式加速度传感器的分辨率受到电容检测电路分辨率的限制,分辨率为MEMS三轴加速传感器MEMS三轴加速传感器(基于iphone)如果静止状态下就会测到 1g 的重力加速度,然后把这个加速度分配到三个轴「x、y、z」上得到不同数值大小,计算完就可以知道三轴与水平的相对角度。MEMS三轴加速传感器电容式原理:测量梳齿状电器的空隙变化所引起的进静电容量的变化,进而对手机设备的加速度进行测量MEMS三轴加速传感器Thanks

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