YBCO薄膜微波滤波器及稳定性试验研究.pdfVIP

一一一一一一一三型缝燮些鱼塑塑呈曳圣墨件学术会议论文集 YBCO薄膜微波滤波器及稳定性试验 邓红斌 汤延林钱进 胡来平张朝兴 (合肥低沮电子研究所.合肥.230043) 王小平 刘燕 (瀚京有色金属研究总院北京.100088) 【摘共】本文采用世砚刀高沮超导翻从侧备出了一组超导徽波带通涟波氛用小型制冷机作冷侧对. 件性能进行试脸。甚件在真空军内存放30个月，其性能出现不同程度的退化分析了退化的可能爪因， 提出了超导器件试脸中应注愈的问且. 关艘匆:高沮超导涟彼册制冷机艳定性 一 引言 高沮超导薄膜具有很低的徽波表面电阻，非常适合制备商Q徽波无源器件， 国内已报导了一些很好的研究结果，但至今尚无一个真正实际应用的器件淇原 因一是缺乏合适的被人们所接受的应用场合;二是器件的稳定性问且没有真正 解决.一些好的结果只是在实验室内得到，不能长期保持，为此，我们模拟实用条 件对超导器件的称定性进行试验。 针对电子侦察和信道化方面的应用，需要使用多个超导器件的情况，我们设 计制备了一组超导泌波器，班盖频率:2-6GHz,共 8个通道，每个通道的标 3dB 带宽:500MHz,标称中心频率分别为:2.25,2.75.,3.25.3.75.4.25.4.75.5.25. 5.75GHz.由于薄膜的限制,8个通道不可能采用多功器的形式在一块签片上实 现，因而分别作了8只滤彼器，试图将每个滤波器选择好再设计完整的多功器,8 只滤波器安装于小型斯特林制冷机冷指上，在同样的条件下试脸其性能，器件性 能侧试后，保持原始状态在制冷机真空罩内回到室沮，存放30个月后，重新Nti 其性能，结果8只滩波器出现了不同程度的退化情况，这个过程与未来实际应用 状态基本上是相同的。 二、器件设计及性能试验 所有滤波器均用直流磁控溅射的YBCO单面膜制备，主要由本所采用平面靶制备， 膜厚约4000埃，Tc-87K，衬底为尺寸:25X15XO.5.的LaAlO,(100)单晶，滩波器 电路采用微带发卡式结构以降低尺寸，电路采用湿法光刻加工，接地板镀银.安装时基 片瞬贴接地板，尽可能消除气隙，每只滤波器封在独立的盒体内，然后将8只涟波器组 99 .本文于2000年6月22日收到。 邓红斌:YBCO薄膜微波泌波器及称定性实验 装在与制冷机冷指相连的专门设计的冷块上。为获得良好的冷却效果，采取了相应的 传热措施。用冷块上安装温度计监测器件的温度。专门设计真空翠，把组件罩起来，抽 真空到IOPa左右，开启制冷机进行制冷，当制冷量与各种漏热平衡，冷块温度不再降低， 器件维持稳定温度，这时开始侧试滋波器性能。表一是在平衡温度为66K侧得8只滤 波器的性能，各器件具有良好性能.只是随频率升高，插损相应增加，测t中扣除了电 缆引人的损耗。侧试完成后停止制冷，器件缓慢回到室温，在真空状态下储存 03个月 后进行了第二次试验，达到平街状态冷块温度降到7lK，在此温度下分别侧量了8只滤 波器的性能，发现8只滤波器表现了不同程度的退化情况，有6只仍保持超导电性，其 中两只的性自肠第一次试脸相比变化不大.另外4只虽有超导电性，但插损增加太大， 已无使用价值;有两只完全不超导，表二是较好滤波器的性能。 屏蔽盒序号 l林 2# 3林 ，绷 5材 6井 7# S样 一3Bd带宽MHz 596 617 562 495 528 641 635 713 一咬OBd带宽MHz 993 1032 960 874 928 1014 1033 1223 中心频率HGz23‘39 2.815 3，405 3.772 4.336 4.808 5449 5775 最小插损dB 0.07 0.59 0.18 0.90 0。20 0.74 097 3.67 最大插损Bd 1、29 2.09 6.89 4。97 5.23 3.60 4.08 10.4