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可伐预氧化工艺因素对金属—玻璃封接气密性的影响
曹日厂1闰
(中国电子科技集团公司第43研究所，合肥230022)
摘要：本文在不同氧化工艺、相同熔封工艺条件下制作金属一玻璃外壳，并模拟外壳实际应
用情况对其气密性进行了考核，分析了工艺因素对可伐预氧化及其对金属外壳气密性的影响。实
验结果表明，可伐合金在N2+H20混合气氛下氧化随时间遵循抛物线的增重规律，在850。C、N2
+H20混合气、氧化10～30分钟，外壳均可获得较高的气密可靠性。
关键词：可伐 预氧化 气密性 金属一玻璃
Effectofkovar factoronthe
pre—oxidationprocess
of
heremicitymetal-glasswelding
CaoRun
(No．43ResearchInstituteofChinaElectronics 230022)
TechnologyCorporation，Hefei
the of caseon differentoxidation
Abstract：Thisintroduces the
paper makingmetal—glass process
andsame real situationofthecasetocheckthecase is
condition，The
welding applied heremicity
theinfluenceofthe factorsonKovar andmetalcase is
simulated，and process pre—oxidation heremicity
also resultshowsthatoxidationoftheKovarinmixed followthe
analyzed．Theexperimental atmosphere
of
incrementrule the astimeincreasement．Thecasecanbeachieved
parabola higherheremicity
whenitis 0～30
oxidizedinthe mixed minutes．
reliability N2+H20atsmophere，850。Ctemperature，1
words：KovarPre—·oxidation
Key HeremicityMetal·-glass
1引言 汽、有害离子或气体进入到元器件的腔体内，
外壳作为电子元器件的包封体，对其起 使金属．氧化物(MOS)器件中的电荷泄漏，
着支撑(电连接、热传导、机械保护等)作 使金属化层腐蚀，使两个相同或不同的带电
用，是元器件的一个重要组成部分。外壳质
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