基于SU8材料的波导生化传感器研究.pdfVIP

第五届伞国颦料光纤、聚合物光子学会议论文集 中国·长春2009年8月17日一20日 基于SU-8材料的波导生化传感器 杨天夫陈长鸣王菲张大明1 (集成光电子学国家重点联合实验室吉林大学实验区， 吉林大学电子科学与工程学院，长春130012) 摘要：本文介绍了基于消逝场原理，利用SU-8光刻胶制备检测溶液或血液中NaCI含量的马赫． 曾德尔干涉仪型(MzI)导波光学生物传感器。分析了为满足传感需要的波导结构设计，通过控制 SU-8折射率使其可作为波导芯／包层并制作了器件，得到了较好的近场输出光斑。 关键词：光波导传感器：消逝场；马赫一曾德尔干涉(MzI)；SU-8光刻胶 0引言 化学和牛物传感器一直是环境监测、生态农业、反恐等领域的热点研究项目tq=随着人们对健康 的密切关注和生物技术的快速发展，研究出在宽广的动态范围内具有高分辨率的医学、生化传感器 已成为当务之急。由于集成光波导器件本身具有抗干扰能力强、使用范围广、尺寸小、便于集成等 优势而在光通讯领域获得了极大关注Ⅲ。鉴于这一特性，开发集成光波导应用于生物化学传感领域 的研究具有很好的科学依据和应用前景。 目前，光波导传感器是国外研究的热点之一。光波导生化传感器的研究大多集中于表面等离子 谐振和波导光栅型传感器。这些传感器虽然具有较高的灵敏度和响应恢复特性，但它们存在选择性 不好和抗干扰能力差等缺陷。MZI型光波导传感器由于具有高灵敏度、高选择性、抗干扰能力强、 使用范围广、尺寸小而使其脱颖而出川。 1忆I敏感机理 1．1消逝场原理 大部分集成光波导化学传感器都是基于消逝场原理。当 光在两介质表面发生全反射时，光波不是绝对地在界面上被 全部反射回第一介质，而是透入第二介质很薄一层(约一个波 返回第一介质。透入第二介质的这个波，称为消逝波，如图 1所示。图中Z，Z分别表示光线在消逝场下的横向位移和 图l光波导消逝场分布 在衬底层中的穿透深度。消逝场将样品材料与导模等效折射 率Ⅳ联系起来。样品材料的折射率、吸收系数或反射系数的 变化会引入等效折射率的改变量AN，进而使待测材料作用后的导模光场E’和作用前光场E之间具 有以下关系： E、(x，少)=E(x，y)exp(jko·△Ⅳ·￡) u7 =E(x，少)exp(一乜·△Ⅳ品·三)exp(jko·△Ⅳk·三) 式中ko=2万／五是真空中的波数；L为光波导和待测材料间的相互作用长度；出‰，刖‰分别为 AN的实部和虚部。由上式可知，削品·三即为导模光波的相位改变量，心m．三表示了光波振幅的 衰减或增益。因此，AN最终被体现在导模相位和振幅的变化上。 1通信联系人：张大明Email：—zhanqdm@—．ilu．edu．cn电话：0431 145 第五届伞国龌科光纤、聚合物光子学会议论文集 中国·长春2009年8月17 R一20日 利用导模消逝场“感知”波导表面附近样品材料特性的变化，从而改变光波的相位或振幅，然 后利用合适的光路(通常转换为光功率的形式)和电路进行探测而得到样品材料的信息，这就是消逝 场传感原理。 1．2工作原理 基于MZI结构的波导传感器典型结构如图2所示，即把MZI的其中一臂设计成传感臂，而另一臂 为参照臂。输入光在分束处被平均分配成同相位的两束光，分别经过相同长度的传感臂和参照臂后， 在合束处相干汇合。当传感臂内传输光的消逝场受到外部干扰(如上包层的折射率发生变化)，就