大型工具显微镜的数字化技术改造研究.pdfVIP

1998年 弟 12卷 第 3期 测 试 技 术 学 报 Vol.12No.11998 (P,*25-1#l)一一— }OIiRNAI.OF7ESTAhNHEA;Sl1RE7E}NTTEC}flVOL(IGY一一一一二SinnN..25) 一下卜‘;}41 大型工具显微镜的数字化技术改造’ 骆永明 中〔E31科*P4AAu}.(学精密1TL械41fnilr,L;!710068) 摘 要 本文首先概要说明了长光栅位移传感器的工作原理和主要技术参数的 选择方法，其次说明了大型工具显微镜数字化枝术改造的设计方案、以及实施 中应注意的几个问题. 关键词 大型工具显微镜;长光栅位移传感91;技术改造 0 弓}言 大型工具显微镜是一种应用广泛.并深受广大计量人员欢迎的计量仪器。它具有毛 作可靠、性能稳定和故障率低等特点。但由于它采用了机械式测量装置作为仪器的标汁 量系统.因此精度不高。又由于是全人工操作.辅助劳动较名。为了提高该仪器的检i91 效率和恻量精度，我们在这台仪器上加装了长光栅位移传感器和数显表。从而把这台儿 学机械式仪器改造成为光机电一体化的数字化仪器。为今后用软件修正技术进一步提，; 它的测量精度和实现测量数据的自动运算和自动输出打下 了基础 本文首先概要说明了长光栅位移传感器的工作原理和主要技术参数的选择方法。其 次说明了大型工具显微镜数字化技术改造的设计方案，以及实施中应注意的几个间题o 1 长光栅位移传感器的工作原理和主要技术参数的选择 长光栅位移传感器的工作原理如图 1所示。它由两块平行放置的光栅叠合而成 其中一块为标尺光栅;另一块为指示光栅 在保证相应的工作间隙和无相位夹角的情况 下形成光闸式的莫尔条纹。当标尺光栅和指示光栅相对运动移过一个栅距时，莫尔条纹 变化一个周期，读数头读出四路相位差分别为。二 ? 袱 二的模拟电压 U信号。经 前置放大器放大，最后由可逆计数器和数码管以数字形式显示在数显表上 电压二u all 十 。叫卜_W4十}~W2-F}卜-34W I 1 立 I 行厄 4 2 4 (‘) .、.冲，，臼. ‘，. 分收稿 日期 二 玛98-05-01 急第 期 ) 大型下具显微镜的数字化技术改造(骆永明) 长光栅位移传感器的光学系统如图2所示 一般都希望光栅测量装置具有结构简 单、装t方便、丁_作可靠和其有较强的抗干 N.Id止 资 于行示光f5 扰能力以及系统结构参数的变化对莫尔条纹 的影响不显著和系统能输出多相信号，且具 有输出信频信号的性能等优点。透射式直接 接收式光学系统的结构简单紧凑、调整使用 方便 、对 广栅距较人的光栅名数采用这一光 学系统 这种系统Cf长度和圆分度测量中得 到了广泛的应用 机喊参22 大型飞_只v微镜的纵横向滑均采用了双 图 2 弧面 v fY!滚道的滚珠导轨。垂直方向的直 elm，水平方向的直线度为4lim,垂直度不超过 20’。机械细分的分辨率 线度为 mm ‘