周期光热反射技术测量纳米薄膜导热系数和界面热阻研究.pdfVIP

中国工程热物理学会 传热传质学 学术会议论文 8 编号：07331 周期光热反射技术测量纳米薄膜导热系数 ‘和界面热阻 布文峰1 唐大伟1 程光华2 l中国科学院工程热物理研究所北京 l00080 2中国科学院西安光学精密机械研究所西安771019 1℃I：OlIO E—mail：叠塑!望坠g垂亘堡曼i!：￡!乜：璺￡：￡望 摘要 采用周期半导体激光为加热源，连续半导体激光为探测光，光学显微镜物镜聚光，应用稳 态的光热反射探测技术得到相应于表面温度响应的周期光反射信号，测量了沉积在si衬底上98nm， 热系数小于体参数并且和厚度有关，Al／si02的界面热阻和si02薄膜的内部热阻相当。 关键词光热反射技术传输线理论纳米薄膜界面热阻 1．引言 薄膜尤其是超薄薄膜在微机械和微电子器件中占有重要的地位，准确地对微／纳米薄 膜传热进行定量分析对器件的研究和发展具有重要的意义。目前已经开展了对多种薄膜 热导率的研究，包括：以Si02为代表的氧化物薄膜，以SiN。为代表的氧化物薄膜、金 刚石薄膜、单晶／多晶硅薄膜、聚合物薄膜、超品格薄膜、*金属及陶瓷薄膜等。 光热反射技术具有较高的敏感度，在半导体离子注入、离子蚀刻特性的表征中己得 到很好的应用Il J。由于其使用的泵浦光和探测光均为高度聚焦的激光束，具有较强的空 间分辨能力，能够对微尺度试样的热物性分布进行测量。本文采用周期加热的光热反射 测量技术测量了不同厚度Si02薄膜的导热系数，和文献中其他方法测量的结果进行了 比较。在本文中的数据解析过程中，同时拟合出薄膜的导热系数和界面的界面热阻。 2．测量原理和实验装置 光热反射测量的原理吐周期调制的加热激光加热试样，能量被试样表面吸收，引 起温度的周期变化，另一束连续激光作为探测光照射该表面，光电探测器探测其反射光 的能量，反映试样表面温度响应的变化情况，将反射信号与加热信号进行比较得到两者 的位相差及振幅比，此问题的逆解析就可以得到加热表面或加热表面下物体的热物性分 布。试验装置同文献2。。 3．试样制备及其理论模型 A1膜，台阶仪测量各层结构的厚度。 ‘． 理论求解图1(a)中三层结构的温度分布，解热传导微分方程的方法需要同时求解多 个方祥，不容易实现。把热传导问题类比于电路问题，图1(a)转化为图1fb)中的电路， 运用传输线理论火大简化了求解过程12】。 由实验中得到的相位差和频率的关系曲线求得材料的热物性和两层材料间的界面热 1679 阻，即由理论关系式砷=g(，∞，k。，R。，k：，R：夕和实验数据得到最优的参数组合k，，R。，k：，R：， 该问题是一个多参数优化的问题，采用模拟退火算法来实现。 ；： Qrp，sJ {lqf，r，T夕 r‘：二卜、 l【j r。1广j E甄殛时-互q 匿湮t且点一A{帑上 ＆k以 l^r：z：吹} 噬d (a) (b)