质量控制与质量管理（清华大学）Run-to-Run 过程控制.pdfVIP

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2018-01-15 发布于浙江
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从美食谈起… RunRun-toto-RunRun 过程控制过程控制怎么才能做出可口的饭菜？ Dr. Kaibo Wang Depaeparttmeentt oof Industdustriaal Enggineeeeringg Tsinghua University, Beijing 王凯波王凯波清华大学工业工程系讲师有经验的厨师有经验的厨师不断不断 “尝尝”和和 “改改” kbwang@ /kbwang/ R2R Control Dr. Kaibo Wang 2 硅片研磨过程控制 Run-to-Run 过程控制 以研磨为例 术语定义  如何调整研磨时间，使得磨后厚度一致？  Run  过程控制 如何使得磨后厚度一致？  第一，有丰富的经验 过程控制方法  第二，不断学习调整  第一步：定义“目标函数”  第二步：建立过程模型  第三步：计算最优控制量  第四步：不断修正过程模型 R2R Control Dr. Kaibo Wang 3 R2R Control Dr. Kaibo Wang 4 第一步：定义目标函数