HEPAULPA过滤器效率测试及检漏方法有关问题讨论研究.pdfVIP

HEPA／ULPA过滤器效率测试及检漏方法有关问题讨论 严德隆 1、HEPA／ULPA过滤器效率测试方法 1．1测试方法及其特点 当前对HEPA过滤器测试方法主要有： (1)DOP法： 此法是以光度计作检测，测试用气溶胶必须是单分散(o．39m)的DOP或其替代的DOS 等液态物质所发生的。 HEPA过滤器的测试。 (2)粒子计数法 此法是以离散粒子计数器(DPC)作为检测仪器，测试用气溶胶可以是单分散或多分散 液体或固体物质，选择范围较宽，常用多分散气溶胶，如DOP或其替代的DOS等液态物质 所发生的，亦常用SPL(聚苯乙烯乳胶球)固体物质所发生的0．1-0．211m粒径的气溶胶。 然亦可用于HEPA过滤器的测试。替代DOP法当已是趋势。 (3)MPPS法 此法是欧盟ENl822标准所规定的，亦是以DPC作为检测仪器，测试用气溶胶要求同(2)。 其与粒子计数法的区别主要在于：以过滤器最易穿透的粒径作为测试用粒径， HEPA／ULPA纤维过滤器在某一粒径下其过滤效率会出现最低，这是因为在此粒径下扩散机 理与惯性机理对过滤器所起的过滤作用，两者都达到最低，此粒径与过滤器的滤料、给结构 测定滤料的MPPS；另外，其对过滤器效率的测试不是采用整体测试，而是扫描测试每一处 的局部穿透率然后统计处理(按95％置信度)得出(整体)穿透率及(整体)效率。最大允 许局部穿透率比整体的高5倍或更多，见表1。 表1．HEPA／ULPA过滤器性能要求(ENl822) 整体值 局部值 类型 (整体)效率 (整体)穿透率 局部效率(％) 局部穿透率(％) (％) (％) HEPA过滤器 H13 99．95 0．05 99．75 0．25 H14 99．995 0．005 99．975 0．025 ULPA过滤器 U15 99．9995 0．0005 99．9975 0．0025 U16 99．99995 0．00005 99．99975 0．00025 U17 99．999995 0．000005 99．9999 0．0001 51 此法用于HE弹棚LPA过滤器的测试，其灵敏度比一般粒子计数法还高，更接近实际， 在测效率的同时亦解决了扫描检漏。 (4)钠焰法 此法采用火焰光度计，它对NaCl燃烧的火焰色度(相当于NaCl的质量)作响应，NaCI 灵敏度低，且NaCl对微电子工厂的产品质量有害，因此国外早已不用。 1．2测试方法的灵敏度及其误差 1．2．1灵敏度 测试方法的灵敏度主要决定于仪器本身。光度计的灵敏度／分辨率一般可至0．001I．tg／L 空气，误差可至±5％。高档的粒子计数器灵敏度／分辨率可在±10％以内，本底噪音计数可 控制达零。 增大上风侧测试用气溶胶浓度会增加灵敏度。光度计在测试过滤器效率时常用于 80mg／m3空气～100mg／m3空气的气溶胶浓度，而DPC所采用浓度(质量)远低于此。 1．2．2误差及控制 过滤器效率测试误差有系统本身误差及随机误差。为满足很高效率的ULPA过滤器的 测试要求，必须用高灵敏度的测试系统以适应之，随机误差已是不可忽略的因素。 1．2．2．1系统本身误差及控制 (1)流速，除粒径外是影响过滤器效率的较重要的因素。因此必须使流速均匀并稳定。常 需通过测定并调整进行控制。 (2)气溶胶浓度变化会影响测试结果，因此其浓度均匀及稳定亦是必须保证的，常需通过 混匀器及多点测试并调整进行控制。 (3)气溶胶粒子在测试系统内会沉积，会影响测试结果，需采用尽量短的管路并合理布置。 (4)管路内壁由于气流流动时会积聚静电，影响气溶胶粒子沉积，