溅射沉积Ar等离子体的发射光谱研讨.pdf

溅射沉积A:等离子体的发射光谱研究 张家良 王平生 陆文琪 邓新绿 (T.连理工大学三束材料改性国家重点实验室。大连，116023) 摘要: 光谧方法是诊断等离子体最有力的工具之一，可以定量地给出等离子体的多种!哭参数 u等离子A(:中的物种、能态分布、温度、浓度等川.本文介绍了一种用于ECR微波等离子体和辉光放电 等离子f3i!:断的发射光to装盆，其特点是光学收集系统的水平位卫可以触调，因而可以对放电区城进行 空喻分布诊断 同6?L文还报道了利用这套装置对Ar气的辉光放电等离子体进行诊断得到的一些结果. 引言 等离子体诊断是实验等离子体物理的重要内容，等离子体本身属于一种载能体系，其 半发生着大量的光辐射 光吸收过程[2]. 因此利用光谱方法，特别是发射光谱方法自然 而然地被立F^t.到等离子体的诊断过程中.等离子体科学和应用工艺发展到当今，对等离子 ^,m石身的运L}状态E9了解和掌握提出了更高的要求.不仅要了解等体的宏观状态 而且还 要了解其微观状态 工仅要了解其力学、热学状态 而且还要了解其电学、光学和化学状 _=FI用光学万云对等离子体进行诊断就是一种有力方法 出现了Aft光二后.橄光诱导荧光光谱和激光吸收光谱在等离子体诊断甲得到了广泛应 手’;:’.坦是作为一拙简单、实用、应月范围广的诊断方法 对某些参数的诊断 特别 是定性诊断.发射光音还不失为一种非常理想的方法.对某些体系的诊断.发射尤谱法还 是无法替代的，因为 IF和激光吸收光谱也有其很大的局限性]’{.发射光谱法有三个优 b 川 可以测量出原子相对浓度随空间和时间的变化;(2)使用起来很方便容易;(3)很 容易一泛推广搜后 从发射光谱的线型中还可以推测出谱线对应的激发态的产生机理. ill卜 IcP橄饮=1,141子协 到 光沼诊助 系统 s1i觅If: fIlax蕊 (2〕波导公 毛D匹巴各H)氏R进场全仁资1 (5)EC只JL振L (6143191傲钵火)和Ugt (刀A.7( “、仪察窗AI盯n FY电电极(7)抽气门 f.!空盆收尖进望 (1URI助进适扭U7)中色仪 (I3)PMT (11)i1刃眺toi己录以 实验设备和实验测量 这套发射光谱诊断系统是在一台ECR徽波等离子体发生器上塔建的。白光学收集系 统，单色仪和记录系统组成处。其中光学收集系统由一。105收集透镜和一组辅助透键组 成 辅助透镜安装在一可以水平移动 (相对于光源和单色仪)的光具座上，目的是可以通过 移动发光区的像相对于单色仪狭缝的位置，实现空间分辨侧盆.单色仪波长扫描范围 30。一1000n.,最高分辨T0.5入，光电倍增管波长响应范围400~850nm.光电倍增管输 出的信号经5000倍