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压电陶瓷剪切模式用于超声电机的研究 鹿存跃，周铁英，陈宇，傅德永 (清华大学，北京100084) 因此在超声电机中应用压电陶瓷的d15逆压电效应有助于扩大定子的振幅，提高超声电机的性能。本文介绍了已 经采用d15逆压电效应的切变型压电陶瓷元件，如激励扭转振动的压电陶瓷环和筒以及激励行波的压电陶瓷盘等， 分析了其在行波型、驻波型等超声电机中的应用方式和驱动机理。现提出了一种新的切变型弯曲振动的压电陶瓷 柱元件，并应用于弯曲摇头型超声电机中，这有助于满足发展大应变、微型化超声电机的需求。 关键词：超声电机； 压电陶瓷； 剪切应变； 弯曲振动 超声电机的问世，扩充了传统的电机由电磁效应获得转速和转矩的概念，它不需要电磁相互 作用来转换能量。而是利用压电材料的逆压电效应产生超声振动直接驱动转子(或动子)获得运动 和力(矩)。 超声电机在进行振动激励时，通常利用压电陶瓷的(t31、d33或d15逆压电效应。在压电陶瓷 的极化方向施加电场，压电陶瓷会产生沿极化方向的形变，这是压电陶瓷的d33逆压电效应。这 种效应被广泛应用在各种压电陶瓷换能器件中，如各种超声清洗换能器、超声焊接换能器以及医 疗、美容等器件中【l】。Canon公司研制成郎之万式弯曲型超声电机，将其应用于相机镜头的调焦 的极化方向施加电场，其形变垂直于极化方向，这是压电陶瓷的d31逆压电效应。利用d3l逆压电 效应的制成的超声微电机主要有环形行波型超声电机【3一钉、驻波型超声电机【5]、棒状弯曲型超声电 机【6]等形式。其中，环形行波型超声电机在技术上已经发展的比较成熟，日美等国早己产业化， 我国正在逐步商品化。 如果在垂直于压电陶瓷的极化方向施加电场，其形变是切向的(图1)。通常情况下，压电 1【3l大。采用压电陶瓷的切变逆压电效应已经研制成切变换能器，陶瓷滤波器，扭转换能器等器件。 表1典型压电陶瓷的压电常数 d31 d33(e-12m／v)d15(e-12m／v) (e-12m／v) PZT一2 -60 152 440 PZT-4 一123 289 496 PZT一4D -135 315 550 PZT一5A -17l 374 584 ‘-) ‘h) PZT-5H -274 593 741 图ldis逆压电效应的原理 PZT-7A -60 153 360 PZT-8 -97 225 330 ．148．． 理论上，如果在超声电机中应用压电陶瓷的d15逆压电效应，会有助于扩大定子振幅，提高超声 电机的性能。但是到目前，利用压电陶瓷的d15逆压电效应的超声电机并未被广泛关注。虽然也 出现了一些此类超声电机，但该类型超声电机的研究和应用水平还没有达到预测的水平。 本文简述了一些应用压电陶瓷d15切变逆压电效应的压电陶瓷元件和超声电机，分析了驱动 机理和驱动方式。探讨了切变逆压电效应在超声电机中的应用前景，并提出发挥其优良特性的必 要途径。 1切变型压电陶瓷元件 1．1原理 压电陶瓷的切变逆压电效应的形成原理如图1所示。在图l(a)所示的六维坐标系中，定义 沿3方向极化，沿1方向施加电场时，压电陶瓷会产生沿5方向的剪切变形，如图1(b)所示。 这是压电陶瓷的d15逆压电效应。