离子束辅助真空电弧沉积TiO2-xNx薄膜及抗菌性能研究.pdfVIP

第16卷第6期 功能材料与器件学报 V01．16．No．6 OFFUNCTl0NALMATERIAl5AND 2010年12月 JOURNAL DEVICES Dec．．2010 文章编号：1007—4252(2010)06—0570—05 离子束辅助真空电弧沉积Ti02一xNx薄膜及抗菌性能研究 成晓玲1，胡社军2，胡永俊3，谢光荣3，魏志钢1 (广东工业大学1．轻工化工学院，3．材料与能源学院，广州510006； 2．华南师范大学物理与电信工程学院，广州510631) 摘要：采用离子束辅助真空电弧沉积技术在玻璃衬底上制备了氮掺杂的TiO：薄膜样品，通过x射 线衍射(XRD)、XPS以及UV—Vis分光光度计等测试手段对离子束辅助沉积样品的结构、表面成 分及抗菌活性进行了分析，研究了经离子束辅助沉积氮掺杂的TiO：薄膜的抗菌性能。结果表明： 离子束辅助沉积的氮掺杂的TiO：薄膜为非晶态结构，热处理后向锐钛矿转变，出现(101)面的择优 取向。离子束流越大，TiO：一，N；薄膜红移的越少；抗菌活性随着离子束流的增加而减弱，但离子束 辅助沉积的掺氮TiO：薄膜抗菌活性均比传统真空电弧沉积的薄膜抗菌活性高。离子束辅助沉积 的掺氮TiO：薄膜对大肠杆菌、金黄色葡萄球菌自然光照的抑菌率的抗菌率均可达99．9％以上。 关键词：二氧化钛；薄膜；离子束辅助；氮掺杂；抗菌特性 中图分类号：0643．3文献标识码：A onantibacterialactivitiesof titaniafilms Study nitrogen——doped preparedbyionbeamassistedcathodevacuumarcmethod CHENG Xiao．1ing’，HUShe-jun2，HUYong-jun3，ZENGPen93，WEIzhi—gan91 of and ofchemical and Materials Industry，3．School EnergySources， (1．Faculty EngineeringLight of of and GuangdongUniversityTechnology，Guangzhou，510006，China；2．SchoolPhysics Telecommunication ChinaNormal Engineering，South filmswere on Abstract：The thin prepared substratesionbeamassisted nitrogen—dopedTi02 glass by cathodevacuumarcmethod．Theannealed TiO，thinfilmswerecharacterizedwithX— nitrogen—doped visible ultraviolet ray