用于探针存储系统的硅微静电驱动器的分析.pdfVIP

第31卷第 1期 压 电 与 声 光 V01．31No．1 2009年 2月 PIEZOELECTECTRICS＆ ACOUST0OPTICS Feb．2009 文章编号 ：1004—2474(2009)Ol一0050—03 用于探针存储系统的硅微静电驱动器的分析 凌智勇，宋 向前，丁建宁 (江苏大学 微纳米科技研究中心，江苏 镇江 212013) 摘 要 ：静 电驱动的微 XY平台、微探针阵列及具有超高密度存储功能的记录介质相结合 的高密度数据存储 技术是 目前的研究热点 。该文提 出并设计 了用于相变探针存储系统 的微型静 电驱动器，其具有面积为 12mm × 12mm的中央Xy平台和 100Ⅱm的静态位移，平台上相变存储介质的面积定为 6．4mmx6．4mm，考虑分析了该 驱动器 的可靠性及机械干涉 问题 。分析表明，所设计的静电微驱动器 的结构合理，各项参数可行，可满足相变探针 存储系统的要求 。 关键词 ：静 电驱动 ；微 xy平 台；相变探针存储 中图分类号 ：TB125 文献标识码 ：A AnalysisofM icroElectrostaticActuatorApplyingfor PhaseChangeProbe-basedDataStorageSystem LING Zhi—yong，SONG Xiang-qian，DING Jian—ning (Micro／NanoScience TechnologyCenter，JiangsuUniversity，Zhenjiang212013，China) Abstract：Thehigh—densitydatastoragetechnologyincludingthemicroXY stageandmicroprobearraysaswell asthedatastoragemedium withsuperhighstoragefunctionhasbecomethefocusofresearch．A microelectrostatic actuatorappliedtOthephasechangeprobe-baseddatastoragesystem hasbeendesigned．Theactuatorcomposedof acentralXY stagewithanareaof12mm ×12mm ．thestaticplacementoftheactuatoris100um andtheareaofthe storagemedium is6．4otni×6．4mm ．Thereliabilityandthemechanicalcross-talk areconsidered．Theanalytical resultsindicatethattheactuatorhasproperconstructionandalltheparametersarefeasible，thusitcam meetthe needsofthephasechangeprobe-baseddatastoragesystem． Keywords：electrostaticactuation；microXY stage；phasechangeprobe-basedstorage 静电驱动的微型 Xy平台一直以来都应用于微 种吊架的固有频率低 ，限制了存取速度的提高 ；而一 光学系统 。它们对大机械系统的微型化及高精度系 种并行存取_3剐的方法可有效解决这一矛盾 。此法 统的实现都有影 响。一些研究成果 已表 明，微 型 可弥补驱动器的小行程 问题 ，因为装置 的实际行程 Xy平台在诸如扫描探针显微镜 (SPM)_1和光学连 将等于标准位移和微探针数量 的乘积 ；而大的存储 接器[2等光学系统中应用是有前途的。