超光滑表面力学性能对比研究.pdfVIP

2008年 12月 宇航计测技术 Dec．，2008 第28卷 第6期 JournalofAstronauticMetrologyandMeasurement Vo1．28．No．6 文章编号：1000—7202(2008)06—0023—04 中图分类号 ：TB938．2 文献标识码 ：A 超光滑表面力学性能对 比研究 贾世奎 李成贵 张庆荣 曹成国 赵松伦 (1．北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院，北京 100083； 2．北京机床技术研究所，北京 100102) 摘 要 研究加工误差达到纳米级的试件表面力学性能及其评价。首先，加工出表面粗糙度达到纳米级的 玻璃和陶瓷两个试件 ，采用x射线衍射测试原理测试表层残余应力。其次，采用原理为Oliver—Pharr的纳米压痕法 对试件进行破坏性实验 ，对比研究各参数测试结果值。结果表明，残余应力和硬度具有一定联系，这对表面完整性 评价、改善加工工艺有一定指导意义。 关键词 表面 力学性质 残余应力 硬度 ResearchonM echanicalPropertiesof DifferentSuperSmoothSurface JIAShi—kui LICheng—gm’ ZHANGQing—rong CAOCheng．guo ZHAOSong—lun (1．SchoolofInstrumentScienceandOpto—electronicsEngineering，BeijingUniversityofAeronauticsand Astronautics，Beijing100083；2．BeijingMachineToolResearchInstitute，Beijing100102) Abstract Themechanicalpropeaiesofsupersmoothsurfacehadbeenresearched．First，glassand ceramicworkpieceswhosesurfaceroughnesshadtobeenexpressedbynanometer，ismanufactured．The residualstressofworkpiecesistestedbyusingX—raydiffractionmethod．Then，thenano—hardnessis testedbyusingOliver—Pharrmethod．Contrastthetestingresultofdifferentparameters．Thediscussion showsthatresidualstressandnano-hardnesshassomerelationship．Thisresultissignificantto express surfaceintegrityanddirecttothesurfacemanufacturing． Keywords Surface Mechanicalproperty Residualstress Hardness 1 引 言 直以来，表面微观几何特征作为衡量表面加工质量 的主要依据，并普遍认为表面粗糙度与零件使用性 能之间存在着直接关系。研究表明，在微纳米误差 随着精密、超精密加工技术的发展，超光滑表面 (加工误差达到纳米级的表面)的检测和质量评价 下，材料往往表现出与宏观条件下不同的特性。人 已经成为超精密加工体系不可缺少的组成部分。一 们期望通过研究表层