铸造多晶硅不同区域性能的研究.docVIP

铸造多晶硅不同区域性能的研究 摘 要 近年来,由于低成本、低耗能和少污染的优势,铸造多晶硅成为主要的光伏材料之一,越来越受到人们的广泛关注。深入地研究材料中杂质有利于生产出高成品率的铸造多晶硅锭,降低铸造多晶硅太阳能电池的制造成本,同时也是制备高效率铸造多晶硅太阳能电池的前提。 本文利用微波光电导衰减仪(μ—PCD),以及红外探伤（IR Imaging）等测试手段,对铸造多晶硅中的杂质及缺陷以及少子寿命的分布特征进行了研究。采用μ—PCD测得了沿硅锭生长方向(从底部至顶部)的少子寿命分布图。结果显示距离硅锭底部3～4cm,以及顶部3cm的范围内存在一个少子寿命值过低的区域,而硅锭中间区域少子寿命值较高且分布均匀。研究结果表明硅锭中存在的高浓度的氧、铁等杂质为影响其少子寿命值的关键因素。多晶硅锭中经常出现硬质夹杂颗粒,严重影响线切割硅片的表面质量,严重时造成硅片切割生产中断线。结果显示硅锭的顶表面附近夹杂高度富集。 关键词: 铸造多晶硅,少子寿命,铁,氧, 夹杂 The Property of Different Regions in Cast Multi-Crystalline Silicon ABSTRACT Recently,due to the superiority of low cost, low energy consumption and less poll