解耦狕轴微机械陀螺的研制-光学精密工程.PDFVIP

第 卷 第 期 光学 精密工程 １９ ９ 　 Ｖｏｌ．１９ Ｎｏ．９ 　 　 　　　　 　　　　 Ｏ ｔｉｃｓａｎｄＰｒｅｃｉｓｉｏｎＥｎｉｎｅｅｒｉｎ 　 　　 　　　　 年 月 　 ｐ ｇ ｇ ２０１１ ９ Ｓｅ．２０１１ 　 　 　 ｐ 文章编号 （ ） １００４９２４Ｘ２０１１０９２１２３０８ 　 解耦 轴微机械陀螺的研制 狕 ， １２ １ １ １ 周 浩 ，苏 伟 ，刘显学 ，唐海林 　 　 （ 中国工程物理研究院 电子工程研究所，四川 绵阳 ； １． ６２１９００ ２．中国工程物理研究院 北京研究生部，北京 １０００８８） 摘要：提出了一种检测模态解耦的 轴微机械陀螺，其检测模态被约束为 自由度振动，可抑制驱动模态的影响，降低不 狕 １ 期望的检测模态偏置，并使用双质量结构在降低模态耦合的同时获得了较好的模态频率匹配。为满足驱动和检测模态 自由度约束要求，使用了 形支撑梁。采用反应离子深刻蚀工艺制作了高深宽比结构层，获得了较大的验证质量，抑制 Ｕ 了器件的机械热噪声，提高了陀螺分辨率。加工的陀螺面积为 ２１００ ｍ×２１００ ｍ，厚度为 ６０ ｍ。采用真空封装，获 μ μ μ 得了较高的机械品质因子。测试结果表明，驱动和检测模态的品质因子分别为 和 ，机械热噪声为 （）／ ２０００ １８００ ３．７６° ｈ １ －１ · ２ 。在 （）／ 的量程内，刻度因子为 ／（）· ，非线性度为 ， 内测得零偏稳定性为 Ｈｚ ±２００ ° ｓ ２１ｍＶ ° ｓ １．４２６％ＦＳ１ｈ （）／。 ０．０５７９° ｓ 关 键 词：微机械陀螺；机械解耦；反应离子深刻蚀 　 　 中图分类号： 文献标识码： ： ／ ＴＰ２１２．１ Ａ 犱狅犻１０．３７８８ＯＰＥ２１２３ 　　 　　 犇犲狏犲犾狅犿犲狀狋狅犳犱犲犮狅狌犾犲犱狕犪狓犻狊犿犻犮狉狅犿犪犮犺犻狀犲犱 狉狅狊犮狅犲 狆 狆