波前分割doe阵列半导体激光器光束的品字形整形-红外与激光工程.pdf

第42 卷第3 期 红外与激光工程 2013 年3 月 Vol.42 No.3 Infrared and Laser Engineering Mar.2013 波前分割 DOE 阵列半导体激 器光束的品字形整形 1,2 1,2 1 1 1 石振东 ， 淼峰 ，邱传凯 ，姚 军 ，周崇喜 (1. 中国科学院光电技术研究所 微细加工光学技术国家重点实验室，四川 成都 610209 ； 2. 中国科学院大学，北京 100049) ，发散角、输出光强出 。常 摘 要 半导体激光器(LD)输出光束受工作电流、个体差异的影响 现波动 规 衍射光学元件(DOE) 的激光光束整形设计只针对特定的输入输出光场，使用宽容度比较小。文中在 LD 的整形中利用DOE 阵列化的处理，输入光场被分割成许多小单元，不同强度的光重新在成像平面 内预定的区域内叠加，实现对光束的整形。用均匀平面波设计阵列DOE 每个单元，把 分布的球面 波整形成品字形光强分布，衍射效率为90 .53% ，均匀性大约为96% ；发散角在快、慢轴方向上 2毅 ~16毅 的范围内变化，均匀性为 95.8% 以上、衍射效率为90% 以上；在离焦量依16 滋m 内，光束质量变化不 。 。 大 阵列DOE 提 了LD 光束整形系统的稳定性 ； 关键词 阵列衍射光学元件； LD 光束整形； 变发散角 均匀性 中图分类号 O436.1 文献标志码 A 文章编号 1007-2276(2013) 03-0616-05 Shaping laser diode beam into three rectangles by a DOE array to divide input wavefront 1,2 1,2 1 1 1 Shi Zhendong , Li Miaofeng , Qiu Chuankai , Yao Jun , Zhou Chongxi (1. State Key Laboratory of Optical Technologies for Micro鄄fabrication, Institute of Optics and Electronics , Chinese Academy of Sciences , Chengdu 610209, China; 2. University of Chinese Academy of Sciences , Beij ing 100049, China) Abstract: The intensity distribution and the d ivergence of the laser di