滚磨工艺对压电陶瓷振子性能的影响.pdfVIP

第 卷第 期 压 电 与 声 光 ３ ６ ５ Ｖｏｌ．３ ６ Ｎｏ．５ 　 　 　 　 年 月 ２０ １ ４ １ ０ ＰＩＥＺＯＥＬＥＣＴＲＩＣＳ ＆ ＡＣＯＵＳＴＯＯＰＴＩＣＳ Ｏｃｔ．２０ １ ４ 文章编号： （ ） １ ００４２４７４ ２０ １ ４ ０５０８０ １０４ 　　 滚磨工艺对压电陶瓷振子性能的影响 陈 伟，朱 华，姚志军 　 　 （浙江嘉康电子股份有限公司，浙江嘉兴 ３ １ ４０００） 摘 要：介绍行星式滚磨工艺在压电陶瓷频率元件制造过程的应用，对压电陶瓷振子的频率具有调整作用。 　　 　 在给出不同滚磨试验条件下得到不同的滚磨结果。结果分析得出滚磨工艺影响压电陶瓷振子性能的关键因素，确 定了滚磨条件。压电陶瓷频率元件产品的主要指标——— 振子频率控制精度要求越来越高，通过行星式滚磨机的滚 磨加工，实现频率精细调整的目的。 关键词：压电陶瓷振子；滚磨工艺；磨球粒径；转速；滚磨时间 中图分类号： 文献标识码： ＴＮ３８４ Ａ 　　　 Ｅｆｆｅｃｔ ｏｆ Ｂａｌｌ Ｍｉｌｌｉｎｇ Ｐｒｏｃｅｓｓ ｏｎ Ｐｒｏｐｅｒｔｉｅｓ ｏｆ Ｐｉｅｚｏｅｌｅｃｔｒｉｃ Ｃｅｒａｍｉｃ Ｅｌｅｍｅｎｔｓ ， ， ＣＨＥＮ Ｗｅｉ ＺＨＵ Ｈｕａ ＹＡＯ Ｚｈｉ ｕｎ ｊ （ ， ， ， ） Ｚｈｅ ｉｎ Ｊｉａｋａｎ Ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓ Ｃｏ．Ｌｔｄ Ｊｉａｘｉｎ ３ １ ４０００ Ｃｈｉｎａ ｊ ｇ ｇ ｇ ： Ａｂｓｔｒａｃｔ Ｔｈｉｓ ａ ｅｒ ｉｎｔｒｏｄｕｃｅｓ ｔｈｅ ａ ｌｉｃａｔｉｏｎ ｏｆ ｌａｎｅｔ ｂａｌｌｍｉｌｌｉｎ ｒｏｃｅｓｓ ｔｏ ｔｈｅ ｉｅｚｏｅｌｅｃｔｒｉｃ ｃｅｒａｍｉｃ ｆｒｅ 　　 ｐ ｐ ｐｐ ｐ ｇ ｐ ｐ ｕｅｎｃ ｄｅｖｉｃｅ ｍａｎｕｆａｃｔｕｒｉｎ ｒｏｃｅｓｓ ， ｑ ｙ ｇ ｐ ｔｈｅ ｒｏｌｅ ｉｎ ｔｈｅ ａｄ ｕｓｔｍｅｎｔ ｏｆ ｔｈｅ ｉｅｚｏｅｌｅｃｔｒｉｃ ｃｅｒａｍｉｃ ｏｓｃｉｌｌａｔｏｒ ｆｒｅ ｕｅｎｃ ａｎｄ ｊ ｐ ｑ ｙ ｔｈｅ ｐｒｏｆｉｌｅ ｃｈａｍｆｅｒｉｎｇ ｐｒｏｃｅｓｓ ｏｆ ｔｈｅ ｖｉｂｒａｔｏｒｓ．Ｔｈｅ ｒｅｓｕｌｔｓ ｏｂｔａｉｎｅｄ ｉｎ ｔｈｅ ｐｒｏｃｅｓｓ ｏｆ ｂａｌｌ ｍｉｌｌｉｎｇ ｏｆ ｐｉｅｚｏｅｌｅｃｔｒｉｃ ｃｅ ｒａｍｉｃ ｖｉｂｒａｔｏｒｓ ｐｅｒｆｏｒｍａｎｃｅ ｕｎｄｅｒ ｄｉｆｆｅｒｅ