FS层优化报告-剂量.doc

FS层优化报告-剂量，温度，时间 一、剂量变化数据记录： T=1150℃,测试条件：Bv为1e-8,Idss为2640v，Vce为1.85e-5,Vth为3.7e-9。 D (cm2) t(min) 1e16 1e17 1e18 1e19 1e20 5e17 400 Bv 3220 3774 4046 4120 4119 3988 Idss 2.87e-10 1.22e-10 4.13e-11 3.260e-11 3.21e-11 5.47e-11 Vce 5.40 5.56 无法读取 无法读取 无法读取 6.85 Vth 2.30 2.30 2.30 2.95 2.30 2.30 结果分析：其中5e17是在跑完前面五个后增加的，比较理想,可在1e17和5e17附近取值，从上表中可以看出，随着剂量的增加，BV，Vce随之增大。尤其是Vce随浓度变化特别明显,以至于1e18之后无法读取数据。Vth基本稳定在2.30，但是在1e19有点高。IDSS也逐渐减少。建议可在1e17到5e17附近优化取值。 二、温度变化数据记录 D=1e18,测试条件：Bv为1e-8,Idss为2640v，Vce为1.85e-5,Vth为3.7e-9。 T （℃） t(min) 1050 1100 1150 1200 1250 400 Bv 3918 4008 4046 4062 4054 Idss 7.0256E-11 4.9699E-11 4.1258E-11 3.7823E-11 3.5980E-11 Vce 5.96 7.22 无法读取 无法读取 无法读取 Vth 2.35 2.30 2.35 2.35 2.35 结果分析：随着温度的增大，BV、VCE随之增大，特别是VCE受温度影响很显著，在1150℃以上温度时VCE超过10V,不能读取，原因是随着温度的升高，FS层的厚度急剧增大阻碍了PNP管中发射极空穴的注入，降低了电导调制效应。Vth受温度影响很小，基本稳定在2.35V，Idss随温度增大略微减少（幅度很小）。 三、时间变化数据记录 D=1e18,测试条件：Bv为1e-8,Idss为2640v，Vce为1.85e-5,Vth为3.7e-9。 t （min） T(℃) 280 340 400 460 520 1150 Bv 4028 4038 4046 4052 4059 Idss 4.4909E-11 4.3699E-11 4.1258E-11 3.9544E-11 3.8765E-11 Vce 无法读取 无法读取 无法读取 无法读取 无法读取 Vth 2.30 2.30 2.30 2.30 2.30 结果分析：随着时间的变化BV略有增加，IDSS略有减少，在1e18情况下无法在规定条件下读取Vce。Vth基本稳定在2.30v。暂时无法看出FS层扩散时间对Vce的变化。 四、剂量变化截图： 1、剂量为1e16（截图分别是FS掺杂图，bv，耗尽层厚度，电场，电势） 2、剂量1e17 3、剂量为1e18 4、剂量为1e19 5、剂量为1e20 6、5e17 五、温度变化截图 1、1050℃时截图 耗尽层： 掺杂分布： 电势分布： 电场分布： BV曲线： 2、1100℃时截图 耗尽层： 掺杂分布： 电势分布： 电场分布： BV曲线： 3、1150℃时截图 耗尽层： 掺杂分布： 电势分布： 电场分布： BV曲线： 4、1200℃时截图 耗尽层： 掺杂分布： 电势分布： 电场分布： BV曲线： 5、1250℃时截图 耗尽层： 掺杂分布： 电势分布： 电场分布： BV曲线： 六、时间变化截图 1、t=280min 2、t=340min 电场分布