光栅具有位移放大作用.ppt

* 第13章 数字式传感器 第13章 数字式传感器 13.1 光栅传感器 13.2 编码器 13.3 感应同步器 13.1 光 栅 传 感 器 13.1.1 光栅的结构及工作原理 1. 光栅结构 光栅--镀膜玻璃上均匀刻制许多有明暗相间、等间距分布的细小条纹（刻线） a--栅线的宽度（不透光）， b为栅线间宽（透光）， a+b=W栅距（也称光栅常数） 通常a=b=W/2，也可刻成a∶b=1.1∶0.9 常用的光栅每毫米刻成10、25、50、 100、250条线条。 图13 – 1 透射光栅示意图 2. 光栅测量原理 莫尔条纹--等栅距光栅（光栅1、光栅2）面向对叠合在一起，中间留有很小的间隙，并使两者的栅线之间形成一个很小的光栅线纹夹角θ --在近于垂直栅线方向上出现明暗相间的条纹。 在d - d线上，两块栅线重合，透光面积最大， 形成条纹的亮带--一系列四棱形图案构成的； 在f - f线上，两块栅线错开，形成条纹的暗带--由一些黑色叉线图案组成的。 莫尔条纹由两块光栅的遮光和透光效应形成的。 图13-2 光栅莫尔条纹的形式 莫尔条纹测位移具有以下三个方面的特点 (1) 位移的放大作用 条纹宽度BH--光栅移动正向（反向 ）一个栅距→莫尔条纹跟着正向（反向 ）移条纹宽度 （13 - 1） θ越小，BH越大→栅距W放大了1/θ倍。例如θ=0.1°，则1/θ≈573，即莫尔条纹宽度BH是栅距W的573倍， 这相当于把栅距放大了573倍，光栅具有位移放大作用， 从而提高了测量的灵敏度。 BH与θ之间的关系： （2） 莫尔条纹移动方向 如光栅1沿着刻线垂直方向向右移动时，莫尔条纹将沿着光栅2的栅线向上移动；反之，当光栅1向左移动时，莫尔条纹沿着光栅2的栅线向下移动。 因此根据由莫尔条纹移动方向→辨别光栅1的运动方向 (3) 误差的平均效应 莫尔条纹由光栅的大量刻线形成，对线纹的刻划误差有平均抵消作用，能在很大程度上消除短周期误差的影响。 13.1.2 光栅传感器的组成 光栅读数头：利用光栅原理把输入量（位移量）转换成响应的电信号； 光栅数显表：实现细分、辨向和显示功能的电子系统。 1. 光栅读数头 组成：标尺光栅、指示光栅、光路系统和光电元件等。 标尺光栅—其有效长度即为、且取决于测量范围，固于被测体上，随之一起移动。 指示光栅--比标尺光栅短得多，栅距相同，使用时两光栅互相重叠，两者之间有微小的空隙。指示光栅相对于光电元件固定 图13 – 3 光栅读数头结构示意图 莫尔条纹的渐变过程：是一个明暗相间的带。两条暗带中心线之间的光强变化是从最暗→渐暗→渐亮→最亮→渐亮→渐暗→最暗。光电元件接收莫尔条纹移动时光强的变化，则将光信号转换为电信号 主光栅移动一个栅距W，光强变化一个周期，若用，接近于正弦周期函数(图13 -4)， 以电压输出 图13-4 光栅位移与光强、输出电压的关系 （13 - 2） uo——光电元件输出的电压信号 Uo——输出信号中的平均直流分量 Um——输出信号中正弦交流分量的幅值。 x—位移 2. 光栅数显表 功能：辨别位移方向，提高测量精度，实现数字显示，必须把光栅读数头输出信号→数显表作进一步的处理。 组成：整形放大电路、细分电路、辨向电路及数字显示电路等组成。  （1） 辨向原理 主光栅作正反向移动，莫尔条纹仅明暗交替变化， 光电元件输出同一规律变化的电信号，此信号不能辨别运动方向。 在相隔BH/4间距的位置上，放置两个光电元件1和2，得到两个相位差π/2的电信号u1和u2（图中波形是消除直流分量后的交流分量），经过整形后得两个方波信号u1′和u2′。 u2′的电平状态作为与门的控制信号，来控制在不同的移动方向时，u1′所产生的脉冲输出。 这样就可以根据运动方向正确地给出加计数脉冲或减计数脉冲， 再将其输入可逆计数器，实时显示出相对于某个参考点的位移量。 图13 – 5 辨向逻辑工作原理 (2) 细分技术 光栅测量是以移过的莫尔条纹的数量来确定位移量，其分辨率为光栅栅距 目的：提高分辨率和测量比栅距更小的位移量 n倍频：在莫尔条纹信号变化一个周期内n个脉冲，可使测量精度提高到n倍，而每个脉冲相当于原来栅距的1/n。由于细分后计数脉冲频率提高到了n倍。 细分方法：机械细分、电子细分两类。 电子细分法---四倍频细分法 （其它细分法的基础） 1、在相差BH/4位置上安装两个光电元件，得到两个相位相差π/2的电信号。 若将这两个信号反相就可以得到四个依次相差π/2的信号，从