形貌分析――电镜.ppt

材料的形貌分析 形貌分析的内容和方法 形貌分析的主要内容是分析材料的几何形貌，材料的颗粒度，及颗粒度的分布以及形貌微区的成份和物相结构等方面 常用的形貌分析方法主要有：扫描电子显微镜(SEM)、透射电子显微镜(TEM)、扫描隧道显微镜(STM)和原子力显微镜(AFM) 电子与物质相互作用 工作原理对比 光学显微镜 透射电子显微镜 （TEM) TEM形貌分析 很高的空间分辩能力，特别适合纳米粉体材料的分析 测试样品厚度要小于100nm 特点是样品使用量少，不仅可以获得样品的形貌，颗粒大小、分布以外还可以获得特定区域的元素组成及物相结构信息 申克孢子丝菌 SEM形貌分析 较高的放大倍数，10-20万倍之间连续可调 很大的景深，视野大，成像富有立体感，可直接观察各种试样凹凸不平表面的细微结构 可放置大块试样直接进行观察。 目前的扫描电镜都配有X射线能谱仪装置，这样可以同时进行显微组织形貌的观察和微区成分分析 花粉 跳蚤 扫描探针显微镜（SPM） 是所有机械式地用探针在样本上扫描移动以探测样本影像的显微镜的统称 包括扫描隧道显微镜（STM）（第一个被发明的扫描探针显微镜 ，1981年），原子力显微镜（AFM）,激光力显微镜（LFM），磁力显微镜（MFM）等等 STM形貌分析 原子级的高分辨率，横向分辨率可达0.1nm，垂直分辨率已达0.01nm 可在真空，大气溶液等不同环境下工作，工作温度可从热力学零度到摄氏几百度 是纳米结构加工的有力工具，还可操纵原子和分子 要求试样有一定程度的导电性；对表面微粒间的某些沟槽不能准确探测 原子力显微镜AFM 利用微悬臂感受和放大悬臂上尖细探针与受测样品原子之间的作用力来实现表面成像 AFM形貌分析 可以测量包括绝缘体在内的固体表面结构，达到原子分辨水平 还可以测量表面原子间力，测量表面的弹性、塑性、硬度、黏着力、摩擦力等性质 * 光源 中间象 物镜 试样 聚光镜 目镜 毛玻璃 电子镜 聚光镜 试样 物镜 中间象 投影镜 观察屏 复合陶瓷 扫描电子显微镜（SEM) STM *