扫描隧道显微镜测量试验.DOC

扫描隧道显微镜测量实验 实验目的 了解扫描隧道显微镜(STM)的基本工作原理； 了解STM的探针制备设备及探针制备的影响因素； 了解扫描隧道显微镜的基本组成，开展双正弦光栅微结构的STM测量实验、对测量结果进行数值分析。 实验系统组成 高长-径比探针制备系统、VHX-600数码显微镜、扫描隧道显微镜测量装置等。 实验步骤 了解扫描隧道显微镜探针的制备设备，配置碱性溶液并控制电化学腐蚀过程中电流大小，制备不同形貌探针。简要描述制备流程： 探针制备控制器 步进电机运动台 电子称 氢氧化钾 30ml烧杯 50ml烧杯 玻璃棒、滴管 废液收集 探针制备流程(简述)： 运用KEYENCE VHX-600数码显微镜，观察制备探针形貌： 电流脉冲占空比： 制探针长度： 显微镜观测图像： 电流脉冲占空比： 制探针长度： 显微镜观测图像： 电流脉冲占空比： 制探针长度： 显微镜观测图像： 了解扫描隧道显微镜组成及使用，完成正弦光栅阵列微结构的测量。实验中，利用XY方向精密电机作栅格扫描运动，实现光栅阵列微结构的面扫描：采用栅格1、栅格2两种扫描路径实现，观察双正弦光栅阵列的测量结果。（栅格1选取固定测量参考点扫描，栅格2为XY轴交替步进） 下图为STM测量系统的组成： 将A~G填入左图中STM测量系统的电气控制环节：A.计算机B.图形显示C.信号处理与运动控制设备D.信号采集卡E.高稳态电源F.压电陶瓷驱动器G.偏压电路 ①~⑩为STM系统的基本结构: 调整手调台选取合适的测量区域，然后通过程序将探针移动到隧道区准备测量；在测量双正弦光栅时，设定合理的测量范围和测量速度，通过栅格扫描轨迹，得到测量结果： 注意事项： 1.在助教或者指导老师帮助下完成化学实验，探针制备实验中，用到强碱溶液，具有强腐蚀性，散落的化学药剂不要用手触碰。 2.溶液配比时，通过电子秤称量定量的氢氧化钾，然后采用了碱加水的方式，用玻璃棒搅拌实现碱性溶液溶解，搅拌后烧杯温度升高，勿触碰。（正确的碱性溶液配比时，采用碱加水的方式，本实验选用块状碱、浓度相对低，搅拌后有局部温升，注意安全）。 3.探针制备和探针观测结束后，记得关闭仪器。 4.STM测量时，进针步进不能输入太大，防止进针过大，测量探针失效。 5.STM测量结束后，将测头装置提升1mm，保证针尖离开被测双正弦光栅微结构，防止针尖划伤微结构表面。 6.实验结束后关闭探针制备系统。 问题： 扫描隧道显微镜的英文全称： 探针制备过程中，电化学腐蚀过程如下列方程，运用电荷守恒定律，配平电极处的电化学反应： W+ OH-→ WO42-+ H2O+ e- (1) H2O+ e-→ H2+ OH- (2) 总体的反应： W+ H2O+ OH-→ WO42-+ H2 其中， 是正极反应， 是负极反应。 配比溶液时，碱 g，水 mL。配比的碱性溶液大约 mol/L。 简要描述一下，在测量沟槽型微结构时，被测工件测量结果与探针形貌的关系。（电化学腐蚀探针与机械剪切探针外形差异对测量结果影响） 扫描隧道显微镜在测量中，样品上施加多大的偏置电压 ，测量过程中，设定隧道电流参考电压多大 。 扫描隧道显微镜测量双正弦光栅微结构时，隧道电流信号的闭环控制如下，将信号处理的关键步骤填入流程图： 基于双正弦光栅微结构测量数据，运用Matlab等工具分析测量数据，选用合适的滤波函数（如中值滤波等）绘制栅格扫描测量的图像并对比原始数据；同时分析双正弦光栅的周期（x，y方向）。 实验分析与结论