[物理]真空知识培训201103.pptVIP

磁控溅射原理： 通过磁场，增长电子运动轨迹，从而提高碰撞、电离工艺气体的几率。 一般溅射的两个缺点 沉积速率较低 需要工作气压较高 磁控溅射的优点 沉积速率高：电离效率高/原子散射几率小 工作气压低：降低污染/提高原子能量 磁控溅射的缺点 对靶材溅射不均匀 不适合于铁磁材料 磁控溅射中电子运动轨迹的加长 磁力线走廊不闭合时，总体溅射率降低，缺口处几乎没有任何溅射-------磁力线走廊必须封闭。 平面型磁控溅射靶 利用率在40%左右 圆柱型磁控溅射靶 利用率可以达到85% 真空简介 真空如何获得 真空如何测量 真空检漏 真空镀膜种类 sputter 设备简介 背电极TCO镀膜设备 设备配置简图： 箱 体 作 用 本底压强 漏率 C1/C7 上下料室 ≤ 1 x 10-1 Pa ≤ 10-4 Pa l /s C2/C6 缓冲室 ≤ 3 x 10-4 Pa ≤ 10-4 Pa l /s C3/C5 传输室 ≤ 1.5x 10-4 Pa ≤ 10-4 Pa l /s C4 工艺室 ≤ 1.5x 10-4 Pa ≤ 10-4 Pa l /s AZO Ag(预留) Al NiV C1 C2 C3 C4 C5 C6 C7 设备规格： 常温成膜方式，生产节拍：33 ~ 35s； 基板玻璃尺寸：W(1100mm) × L(1300mm)，厚度：3mm ~ 5mm 设备尺寸: 21.0 m × 3.5 m× 2.80 m（仅指设备本身的尺寸） 镀膜参数 AZO:标准厚度为100nm±2.5nm、面电阻为:＜300 [Ω/□] Al:标准厚度为200nm±5nm、面电阻为＜0.5 [Ω/□] NiV:标准厚度为50nm±1.25nm、面电阻？ 旋转圆柱靶阴极 谢谢聆听！ * 文件名 文件名 * * * 真空简介 真空如何获得 真空如何测量 真空检漏 真空镀膜种类 sputter 设备简介 1.真空仪表 2.真空规 分类： 热偶真空计 真空仪表分为： 电阻真空计 复合真空计 电离真空计 全量程复合规 真空规管分为： 热偶规 电阻规 电离规 1、电阻规 ⑴ 工作原理： 管内封装一根电阻丝，电阻丝用导线引出管壳，接至 测量电路。由测量电路用一定的电压或电流对电阻丝进行加热，在较低压强下，电阻丝的电阻值取决于它周围气体的压强。 ⑵ 压力测量范围： 101325～10-1 Pa 2、热偶规 ⑴ 工作原理： 根据在低压下，气体分子热传导与压力有关的原理制 成的。它是在玻璃管壳中由边杆支撑一根热丝，热丝 通以电流加热，使其温度高于周围气体和管壳的温度， 于是在热丝和管壳之间产生热传导。当达到热平衡时， 热丝的温度决定于气体热传导，因而也就决定于气体 压力。 ⑵ 压力测量范围： 102 ～10-2 Pa 上为电阻规，下为热偶规 3、电离规：冷阴极、热阴极 压力测量范围： 10-1 ～10-5 Pa 由于电子的平均自由程小,气体在10-1Pa以上,气体不能电离.所以不能反映气压, 在10-5 Pa以下,会产生光电子,造成指示不准确. 工作原理(下述1.2.3.) (1)电子在电场中飞行时从电场获得能量，若与气体分子碰撞，将使气体分子以一定几率发生电离，产生正离子和次级电子。其电离几率与电子能量有关。电子在飞行路途中产生的正离子数，正比于气体密度n,在一定温度下正比于气体的压力p。因此，可根据离子电流的大小指示真空度。这就是电离真空计工作原理。 ????由灯丝加热提供电子源的电离真空计称为热阴极电离真空计，其型式繁多，各具不同特点和适用不同的压力测量范围。 ????热阴极电离真空计由测量规管(或规头)和电气测量电路(真空计控制单元和指示单元)组成。规管功能是把非电量的气体压力转换成电量——离子电流 (2)当气体导电时，电子与气体分子的碰撞频率跟气体分子的密度有关。密度大，碰撞的频率就高，产生的离子也越多，气体中的电流就越强。又由于气体分子的密度与气体的压强是直接相关的，因此，测定了气体中电流的大小，即可确定气体的压强。根据上述原理即可制成热阴极电离真空计。最简单的热阴